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Курсовая: Расчет p-n перехода

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Òàêîé ïåðåõîä ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé îáëàñòü ìåæäó äâóìÿ ïîëóïðîâîäíèêàìè ðàçíîãî òèïà ïðîâîäèìîñòè, îáúåäèíåííóþ îñíîâíûìè íîñèòåëÿìè çàðÿäà.  çàâèñèìîñòè îò õàðàêòåðà ðàñïðåäåëåíèÿ, êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè â îáúåäèíåíîì ñëîå P-N ïåðåõîäû áûâàþò ñòóïåí÷àòûå (ðåçêèìè) è ïëàâíûìè.  ñòóïåí÷àòîì P-N ïåðåõîäå êîíöåíòðàöèè ïðèìåñåé ðàñïðåäåëåíû â êàæäîé îáëàñòè ðàâíîìåðíî, à ïëàâíûõ ðàñïðåäåëÿþòñÿ ïî íåêîòîðîìó çàêîíó. Íà ðèñ.1.1.1 ïðåäñòàâëåíî ðàñïðåäåëåíèå çàðàäîâ â ïîëóïðîâîäíèêàõ ïðè ïëàâíîì è ðåçêîâ èçìåíåíèè òèïà ïðîâîäèìîñòè.  à) á) Ðèñ.1.1.1 Ðàñïðåäåëåíèå è ïðèìåñè çàðÿäà â ïîëóïðîâîäíèêå ïðè èçìåíåíèè òèïà ïðîâîäèìîñòè: à) ïëàâíîå èçìåíåíèå òèïà ïðîâîäèìîñòè; á) ðåçêîå èçìåíåíèå òèïà ïðîâîäèìîñòè. Ïðè ïëàâíîì èçìåíåíèèè òèïà ïðîâîäèìîñòè (ðèñ. 1.1.1à) ãðàäèåíò êîíöåíòðàöèè ðåçóëüòèðóþùåé ïðèìåñè N=Na-Ngìàë, ñîîòâåòñòâåííî ìàëû è äèôôóçèîííûå òîêè. Ýòè òîêè êîíïåíñèðóþòñÿ äðåéôîâûìè òîêàìè, êîòîðûå âûçâàíû ýëåêòðè÷åñêèì ïîëåì, ñâÿçàííûå ñ íàðóøåíèåì óñëîâèÿ ýëåêòðè÷åñêîé íåéòðàëüíîñòè: Ng-Na-Ro+Ïo=0 (1). Äëÿ êîìïåíñàöèè äèôôóçèîííûõ òîêîâ äîñòàòî÷íî íåçíà÷èòåëüíîãî íàðóøåíèÿ íåéòðàëüíîñòè, è óñëîâèå (1) ìîæíî ñ÷èòàòü ïðèáëèæåííî âûïîëíåííûì: Ng-Na+Po-Ïî<<Po+Ïî (2). Ïðè ðåçêîì èçìåíåíèè òèïà ïðîâîäèìîñòè (Ðèñ.1.1.1á) äèôôóçèîííûå òîêè âåëèêè, è äëÿ èõ êîìïåíñàöèè íåîáõîäèìî ñóùåñòâåííîå íàðóøåíèå ýëåêòðîíåéòðàëüíîñòè: (1). Èçâåñòíî, ÷òî ýêðàíèðîâàíèå ýëåêòðè÷åñêèõ çàðÿäîâ â ïîëóïðîâîäíèêàõ ïîäâèæíûìè íîñèòåëÿìè îñóùåñòâëÿåòñÿ â îáëàñòè ñ ðàçìåðàìè ïîðÿäêà äåáàåâñêîé äëèíû ýêðàíèðîâàíèÿ(3), ãäå . Ïðè ýòîì ýëåêòðèÿ÷åñêàÿ íåéòðàëüíîñòü ñóùåñòâåííî íàðóøàåòñÿ, åñëè íà äåáàåâñêîé äëèíå ýêðàíèðîâàíèÿ èçìåíåíèå ðåçóëüòèðóþùåé êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè âåëèêî. Òàêèì îáðàçîì, íåéòðàëüíîñòü ñóùåñòâåííî íàðóøàåòñÿ ïðè óñëîâèè:(4).  ñîñòîÿíèè òåðìîäèíàìè÷åñêîãî ðàâíîâåñèÿ ïðè îòñóòñòâèè âûðîæäåíèÿ ñïðàâåäëèâ çàêîí äåéñòâóþùèõ ìàññ: (5). Ïðè óñëîâèè (5) ïðàâàÿ ÷àñòü (4) äîñòèãàåò ìèíèìóìà ïðè .Ïîýòîìó óñëîâèå ñóùåñòâîâàíèÿ Ð-N ïåðåõîäà (óñëîâèå ñóùåñòâåííîãî íàðóøåíèÿ íåéòðàëüíîñòè) èìååò âèä: (6), ãäå  - äåáàåâñêàÿ äëèíà ýêðàíèðîâàíèÿ â ñîáñòâåííîì ïîëóïðîâîäíèêå. Ïåðåõîäû, â êîòîðûõ èçìåíåíèå êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè íà ãðàíèöå ñëîåâ Ð- è N- òèïà ìîãóò ñ÷èòàòüñÿ ñêà÷êîîáðàçíûìè (), íàçûâàþòñÿ ñòóïåí÷àòûìè.  ïëàâíûõ ïåðåõîäàõ ãðàäèåíò êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè êîíå÷åí, íî óäîâëåòâîðÿåò íåðàâåíñòâó (6). Ïðàêòè÷åñêè ñòóïå÷àòûìè ìîãóò ñ÷èòàòüñÿ P-N ïåðåõîäû, â êîòîðûõ èçìåíåíèå êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè ïðîèñõîäèò ïî äëèíå, ìíîãî ìåíüùå øèðèíû ïåðåõîäà. Òàêèå ïåðåõîäû ìîãóò áûòü ïîëó÷åíû ïóòåì ñïëàâëåíèÿ, ýïèòàêèè. Ïî îòíîøåíèþ ê êîíöåíòðàöèè îñíîâíûõ íîñèòåëåé â ñëîÿõ Ð- è N- òèïà ïåðåõîäû äåëÿòñÿ íà ñèììåòðè÷íûå ì íåñèììåòðè÷íûå.  ñèììåòðè÷íûõ ïåðåîäàõ ôóíêöèè N(x) îáëàäàåò öåíòðàëüíîé ñèììåòðèåé îòíîñèòåëüíî òî÷êè X=0, ãäå N=0.  íåñèììåòðè÷íûõ P-N ïåðåõîäàõ îëåå ëåãèðîâàííûå (è, ñîîòâåòñòâåííî , íèçêîîìíûå) îáëàñòü íàçûâàåòñÿ ýìèòåðîì, à ìåíåå ëåãèðîâàííàÿ (âûñîêîîìíàÿ) - áàçîé. 1.2 Ñòðóêòðóðà P-N ïåðåõîäà. Íàèáîëåå ïðîñòî ïîääàþòñÿ àíàëèçó ñòóïåí÷àòûå P-N ïåðåõîäû. Ñòðóêòðóðà ñòóïåí÷àòîãî ïåðåõîäà ïðåäñòàâëåíà íà ðèñóíêå 1.2.1 Ïðàêòè÷åñêè âñå êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè â P- è N-îáëàñòÿõ ïðåâûøàþò ñîáñòâåííóþ êîíöåíòðàöèþ íîñèòåëåé çàðÿäà Ni. Äëÿ îïðåäåëåíèÿ áóäåì ïîëîãàòü, ÷òî ýìèòåðîì ÿâëÿåòñÿ P-îáëàñòü, à áàçîé N-îáëàñòü.  áîëüøèíñòâå ïðàêòè÷åñêèõ ñëó÷àåâ âûïîëíÿåòñÿ íåðàâåíñòâî Ný>>Ná (7), ãäå Ný è Ná - ðåçóëüòèðóþùèå êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè â ýìèòåðå è áàçå.  à) á) Ðèñ.1.2.1 Ðàñïðåäåëåíèå ïðèìåñè è íîñèòåëåé çàðÿäà â ñòóïåí÷àòîì P-N ïåðåõîäå: à) ïîëóëîãàðèôìè÷åñêèé ìàñøòàá á) ëèíåéíûé ìàñøòàá Ðèñóíîê 1.2.1 ñîîòâåòñòâóåò êðåìíèåâîìó ïåðåõîäó (Ni=1010 cm3 ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå Ò=293,15 Ê) ñ êîíöåíòðàöèåé ïðèìåñè Ný=1018 ñì-3 Ná=1016 ñì-3.  ãëóáèíå ýìèòåðà è áàçû êîíöåíòðàöèÿ îñíîâíûõ íîñèòåëåé çàðÿäà ïðàêòè÷åñêè ñîâïàäàåò ñ ðåçóëüòèðóþùåé êîíöåíòðàöèåé ïðèìåñè:  (8), à êîíöåíòðàöèÿ íå îñíîâíûõ íîñèòåëåé îïðåäåëÿåòñÿ çàêîíîì äåéñòâóþùèõ ìàññ  (9à)  (9á). Èíäåêñû P è Ï ñîîòâåòñòâóþò Ð è N îáëàñòÿì, à èíäåêñ Î ñîîòâåòñòâåííî òåðìîäèíàìè÷åñêîãî ðàâíîâåñèÿ. Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî êîíöåíòðàöèÿ íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé â áàçå áîëøå ÷åì â ýìèòåðå. Íà ðèñ. 1.2.1à ðàñïðåäåëåíèå ïðèìåñåé è íîñèòåëåé çàðÿäà ïðåäñòàâëåíî â ïîëóëîãàðèôìè÷åñêîì ìàñøòàáå, òàêà êàê â ëèíåéíîì ìàñøòàáå èçîáðàçèòü êîíöåíòðàöèè íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé î÷åíü òðóäíî. Ïåðåõîä çàíèìàåò îáëàñòü . Êîíå÷íî ãðàíèöû ïåðåõîäà  îïðåäåëåíû â íåêîòîðîé ñòåïåíè óñëîâíî, òàê êàê êîíöåíòðàöèè îñíîâíûõ íîñèòåëåé èçìåíÿþòñÿ ïëàâíî. Òåì íåìåíåå èç ðèñóíêà âèäíî, ÷òî óæå íà íåáîëüøîì ðàñòîÿíèè îò ãðàíèö âíóòðè ïåðåõîäà âûïîëíÿåòñÿ íåðàâåíñâî:  (10). Íåðàâåíñòâî (10) âûïîëíÿåòñÿ íà âñåì P-N ïåðåõîäå. Íà ðèñóíêå 1.2.1á ðàñïðåäåëåíèå êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé è ïðèìåñåé çàðÿäà èçîáðàæåíû â ëèíåéíîì ìàñøòàáå. Èç ðèñóíêà âìäíî, ÷òî â ýìèòåðíîé îáëàñòè ïåðåõîäà () êîíöåíòðàöèÿ ïîäâèæíûõ íîñèòèèëåé î÷åíü ìàëà ïî ñðàâíåíèþ ñ êîíöåíòðàöèåé ïðèìåñè. Ýòà îáëàñòü èìååò îòðèöàòåëüíûé îáúåìíûé çàðÿä, ïëîòíîñòü êîòîðãî íå çàâèñèò îò êîðäèíàòû: (11).  áàçîâîé îáëàñòè ïåðåõîäà () ïëîòíîñòü îáúåìíîãî çàðÿäà ïîëîæèòåëüíà: (12). Äëÿ N-îáëàñòè îñíîâíûìè íîñèòåëÿìè ÿâëÿþòñÿ ýëåêòðîíû, äëÿ Ð-îáëàñòè - äûðêè. Îñíîâíûå íîñèòåëè âîçíèêàþò ïî÷òè öåëèêîì âñëåäñòâèè èîíèçàöèè äîíîðíûõ è àêöåïòîðíûõ ïðèìåñåé. Ïîìèìî îñíîâíûõ íîñèòåëåé ýòè îáëàñòè ñîäåðæàò íåîñíîâíûå íîñèòåëè: N-îáëàñòè - äûðêè (), Ð-îáëàñòü - ýëåêòðîíû (). Èõ êîíöåíòðàöèþ ìîæíî îïðåäåëèòü ïîëüçóÿñü çàêîíîì äåéñòâóþùèõ ìàññ:  è Ï=1019ì-3 (Ge) ïîëó÷àåì  Òàêèì îáðàçîì, êîíöåíòðàöèÿ äûðîê â Ð-îáëàñòè íà øåñòü ïîðÿäêîâ âûøå êîíöåíòðàöèè èç â N-îáëàñòè, òî÷íî òàêæå êîíöåíòðàöèÿ ýëåêòðîíîâ â N-îáëàñòè íà øåñòü ïîðÿäêîâ âûøå èõ êîíöåíòðàöèè â Ð-îáëàñòè. Òàêîå ðàçëè÷èå â êîíöåíòðàöèè îäíîòèïíûõ íîñèòåëåé â êîíòàêòèðóþùèõ îáëàñòÿõ ïîëóïðîâîäíèêà ïðèâîäèò ê âîçíèêíîâåíèþ äèôôóçèîííûõ ïîòîêîâ ýëåêòðîíîâ èç N-îáëàñòè â Ð-îáëàñòü è äûðîê èç Ð-îáëàñòè â N-îáëàñòü. Ïðè ýòîì ýëåêòðîíû, ïåðåøåäøèå èç N-îáëàñòè â Ð-îáëàñòü, ðåêîìáèíèðóþò âáëèçè ãðàíèöû ðàçäåëà ñ äûðêàìè Ð-îáëàñòè, òî÷íî òàêæå äûðêè, ïåðåøåäøèå èç Ð- â N-îáëàñòü, ðåêîìáèíèðóþò çäåñü ñ ýëåêòðîíàìè ýòîé îáëàñòè.  ðåçóëüòàòå ýòîãî â ïðèêîíòàêòíîì ñëîå N-îáëàñòè ïðàêòè÷åñêè íå îñòàåòñÿ ñâîáîäíûõ ýëåêòðîíîâ è â íåì ôîðìèðóåòñÿ íåïîäâèæíûé îáúåìíûé çàðÿä. Òàêèì îáðàçîì ôèçè÷åñêàÿ ïðè÷èíà îáðàçîâàíèÿ îáúåìíîãî çàðÿäà çàêëþ÷àåòñÿ â òîì, ÷òî ïîä äåéñòâèåì ãðàäèåíòà êîíöåíòðàöèè äûðêè è ýëåòðîíû äèôôóíäèðóþò èç Ð-îáëàñòè(ýìèòòåðà) â N-îáëàñòü (áàçó) è èç N-îáëàñòè (áàçû) â Ð-îáëàñòü (ýìèòåðà) ñîîòâåòñòâåííî, îñòàâëÿÿ â Ð-N ïåðåõîäå îãîëåííûå ïðèìåñíûå èîíû. Ïðîöåññ äèôôóçèè ïðîäîëæàåòñÿ äî òåõ ïîð, ïîêà íå óðàâíîâåøèâàþòñ âîçíèêàþùèì ýëåêòðè÷åñêèì ïîëåì. Íà ðèñ. 1.2.2á ïîêàçàíî èçìåíåíèå êîíöåíòðàöèè àêöåïòîðíûõ è äîíîðíûõ àòîìîâ ïðè ïåðåìåùåíèè âäîëü îñè Õ, ïåðïåíäèêóëÿðíîé ïëîñêîñòè. Íåïîäâèæíûå îáúåìíûå çàðÿäû ñîçäàþò â Ð-N ïåðåõîäå êîíòàêòíîå ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå ñ ðàçíîñòüþ ïîòåíöèàëîâ , ëîêàëèçîâàííîå â îáëàñòè ïåðåõîäà è ïðàêòè÷åñêè íå âûõîäÿùèå çà åãî ïðåäåëû. Ïîýòîìó âíå ýòîãî ñëîÿ, ãäå ïîëÿ íåò, ñâîáîäíûå íîñèòåëè çàðÿäà ïî ïðåæíåìó õîîòè÷íî è ÷èñëî íîñèòåëåé, åæåñåêóíäíî íàòàëêèâàþòñÿ íà ñëîé îáúåìíîãî çàðÿäà, çàâèñèò òîëüêî îò èõ êîíöåíòðàöèè è ñêîðîñòè òåïëîâîãî äâèæåíèÿ, êîòîðûå ïîä÷èíÿþòñÿ êëàññè÷åñêîé ñòàòèñòèêå Ìàêñâåëëà-Áîëüöìàíà. Íà ðèñ 1.2.2â, ïîêàçàíû íåïîäâèæíûå îáúåìíûå çàðÿäû, îáðàçîâàâøèåñÿ â Ð- ïåðåõîäå ( - îáúåìíàÿ ïëîòíîñòü ýòèõ çàðÿäîâ). Íå îñíîâíûå íîñèòåëè-ýëåêòðîíû èç Ð-îáëàñòè è äûðêè èç -îáëàñòè, ïîïàäàÿ â ñëîé îáúåìíîãî çàðÿäà (ðèñ.1.2.2) ïîäõâàòûâàþòñÿ êîíòàêòíûì ïîëåì Vk è ïåðåíîñÿòñÿ ÷åðåç Ð-N ïåðåõîä. Äðóãèå óñëîâèÿ ñêëàäûâàþòñÿ äëÿ îñíîâíûõ íîñèòåëåé. Ïðè ïåðåõîäå èç îäíîé îáëàñòè ïîëóïðîâîäíèêà â äðóãóþ îíè äîëæíû ïðåîäîëåâàòü ïîòåíöèàëüíûé áàðüåð , ñôîðìèðîâàâøèéñÿ â Ð-N ïåðåõîäå. Äëÿ ýòîãî îíè äîëæíû îáëàäàòü êèíåòè÷åñêîé ýíåðãèåé äâèæåíèÿ âäîëü îñè Õ, íå ìåíüøåé .  Ðèñ.1.2.2 Íà ïåðâûõ ïîðàõ, ïîñëå ìûñëåíîãî ïðèâåäåíèÿ Ð- è N-îáëàñòåé â êîíòàêò ïîòîêè îñíîâíûõ íîñèòåëåé ðåçêî óìåíüøàþòñÿ.  òîæå âðåìÿ ïîòîêè íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé íåçàâèñÿùèå îò  îñòàþòñÿ íåèçìåííûìè. Ïîýòîìó îòíîñèòåëüíî áûñòðî ïîòåíöèàëüíûé áàðüåð äîñòèãàåò òàêîé âûñîòû , ïðè êîòîðîì ïîòîêè îñíîâíûõ íîñèòåëåé ñðàâíèâàþòñÿ ñ ïîòîêàìè íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé:  Ýòî ñîîòâåòñòâóåò óñòàíîâëåíèþ â Ð-N ïåðåõîäå ñîñòîÿíèÿ äèíàìè÷åñêîãî ðàâíîâåñèÿ. Èç ðèñ.2à âèäíî ÷òî â íåêîòîðîé îáëàñòè Õ=Õô êîíöåíòðàöèÿ ýëåêòðîíîâ è äûðîê îäèíàêîâû:  (13). Ýòà ïëîñêîñòü íàçûâàåòñÿ ïëîñêîñòüþ ôèçè÷åñêîãî ïåðåõîäà â îòëè÷èå îò ïëîñêîñòè ìåòàëëóðãè÷åñêîãî (èëè òåõíîëîãè÷åñêîãî) ïåðåõîäà Õ=0, ãäå ðåçóëüòèðóþùàÿ êîíöåíòðàöèÿ ïðèìåñè ðàâíà íóëþ.  ñèììåòðè÷íûõ ïåðåõîäàõ ïëîñêîñòü ôèçè÷åñêîãî è ìåòàëëóðãè÷åñêèõ ïåðåõîäîâ ñîâïàäàåò. 1.3. Ìåòîäû ñîçäàíèÿ Ð-N ïåðåõîäîâ. Ýëåêòðîííî-äûðî÷íûå ïåðåõîäû â çàâèñèìîñòè îò òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ ðàçäåëÿþòñÿ íà òî÷å÷íûå, ñïëàâíûå, äèôôóçèîííûå, ýïèòàêñèàëüíûå, ïëàíàðíûå è äðóãèå. Òî÷å÷íûå ïåðåõîäû (ðèñ. 1.3.1) Îáðàçóþòñÿ òî÷å÷íî-êîíòàêòíûì ñïîñîáîì. Ê ïîëèðîâàííîé è ïðîòðàâëåííîé ïëàñòèíå ìîíîêðèñòàëè÷åñêîãî ïîëóïðîâîäíèêà N-òèïà ïîäâîäÿò èãëó, íàïðèìåð, èç áåðèëëèåâîé áðîíçû ñ îñòðèåì 20-30 ìêì. Çàòåì ÷åðåç êîíòàêò ïðîïóñêàþò êðàòêîâðåìåííûå ìîùíûå èìïóëüñû òîêà. Ìåñòî êîíòàêòà ðàçîãðåâàåòñÿ äî òåìïåðàòóðû ïëàâëåíèÿ ìàòåðèàëà çîíäà, è ìåäü ëåãêî äèôôóíäèðóåò âíóòðü ïîëóïðîâîäíèêà îáðàçóÿ, ïîä çîíäîì íåáîëüøóþ ïî îáúåìó îáëàñòü Ð-òèïà.  Ðèñ.1.3.1 Òî÷å÷íûé ïåðåõîä Èíîãäà ïåðåä ýëåêòðè÷åñêîé ôîðìîâêîé íà êîíåö èãëû íàíîñÿò àêöåïòîðíóþ ïðèìåñü (In èëè Al), ïðè ýòîì ïðÿìàÿ ïðîâîäèìîñòü êîíòàêòà äîõîäèò äî 0,1 Ñì. Òàêèì îáðàçîì, ýëåêòðîííî-äûðî÷íûé ïåðåõîä îáðàçóåòñÿ â ðåçóëüòàòå äèôôóçèè àêöåïòîðíîé ïðèìåñè èç ðàñïëàâà çîíäà è âîçíèêíîâåíèè ïîä íèì îáëàñòè Ð-òèïà â êðèñòàëëè÷åñêîé ðåøåòêå ïîëóïðîâîäíèêà N-òèïà. Òî÷å÷íûå ïåðåõîäû ïðèìåíÿþò ïðè èçãîòîâëåíèè âûñîêîêà÷åñòâåííûõ äèîäîâ äëÿ ðàäèîòåõíè÷åñêîãî îáîðóäîâàíèÿ. Ñïëàâíûå ïåðåõîäû.(ðèñ.1.3.2) Îáû÷íî ïîëó÷àþò âûïëàâëåíèåì ïðèìåñè â ìîíîêðèñòàëë ïîëóïðîâîäíèêà. Ìîíîêðèñòàëë, íàïðèìåð ãåðìàíèÿ N-òèïà, ðàñïèëèâàþò íà ïëàñòèíû òîëùèíîé 200-400 ìêì è çàòåì ïîñëå òðàâëåíèÿ è ïîëèðîâêè ðàçðåçàþò íà êðèñòàëëû ïëîùàäüþ â äâà-òðè ìèëëèìåòðà è áîëüøå. íà êðèñòàëëû, ïîìåùåííûå â ãðàôèòîâûå êàññåòû, íàêëàäûâàþò òàáëåòêó àêöåïòîðíîãî ìàòåðèàëà, ÷àùå âñåãî èíäèÿ. Çàòåì êàññåòà ïîìåùàåòñÿ â âàêóóìíóþ ïå÷ü, â êîòîðîé òàáëåòêà èíäèÿ è ñëîé ãåðìàíèÿ ïîä íåé ðàñïëàâëÿåòñÿ. Íàãðåâ ïðåêðàùàåòñÿ è ïðè îõëàæäåíèè ãåðìàíèé êðèñòàëèçóåòñÿ, îáðàçóÿ ïîä ñëîåì èíäèÿ ñëîé Ð-òèïà.  Ðèñ.1.3.2 Ñïëàâíîé ïåðåõîä Çàñòûâøàÿ ÷àñòü èíäèÿ ïðåäñòàëÿåò ñîáîé îìè÷åñêèé (íåâûïðÿìëÿþùèé) êîíòàêò, íà íèæíþþ ÷àñòü ïëàñòèíû íàíîñÿò ñëîé îëîâà, êîòîðûé ñëóæèò îìè÷åñêèì êîíòàêòîì ê ãåðìàíèþ N-òèïà. Ê èíäèþ è îëîâó ïðèïàèâàþò âûâîäû îáû÷íî èç íèêåëåâîé ïðîâîëî÷êè. Èíîãäà, äëÿ îáðàçîâàíèÿ îìè÷åñêîãî êîíòàêòà ñ îáëàñòüþ N-òèïà, íà íåå íàïûëÿþò ñïëàâ Au-Sb, ñîäåðæàùèé ïðèìåðíî 0,1% ñóðüìû, è âïëàâëÿþò åãî ïðè òåìïåðàòóðå 400îÑ.  Ðèñ. 1.3.3. Äèôôóçèîííûé ïåðåõîä Äèôôóçèîííûå ïåðåõîäû (ðèñ. 1.3.3) Äèôôóçèîííûå ïåðåõîäû ïîëó÷àþò äèôôóçèåé ïðèìåñíîãî âåùåñòâà â èñõîäíóþ ïîëóïðîâîäíèêîâóþ ïëàñòèíó. Ýòî îäèí èç íàèáîëåå øèðîêî èñïîëüçóåìûõ ìåòîäîâ ïîëó÷åíèÿ Ð-N ïåðåõîäà. Îí èìååò íåñêîëüêî ðàçíîâèäíîñòåé. Ïðè ïëàíàðíîì ìåòîäå äèôôóçèè ïåðåõîäû ïîëó÷àþò, èñïîëüçóÿ èçîëèðóþùèé ñëîé, ïðèïÿòñòâóþùèé äèôôóçèè ïðèìåñåé. Íà ïîâåðõíîñòè êðåìíèÿ N-òèïà âûðàùèâàåòñÿ òîíêèé (îêîëî 3 ìêì) ñëîé äâóîêèñè êðåìíèÿ SiO2 (ðèñ.1.3.3à). Ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèì ìåòîäîì â îïðåäåëåííûõ ìåñòàõ îêèñëà ïîëó÷àþò “îêíà”, ÷åðåç êîòîðûå äèôôóíäèðóþùèå ïðèìåñè ïðîíèêàþò â N-ñëîé, îáðàçóÿ ïåðåõîä (ðèñ.1.3.3á,â) Ýïèòàêñèàëüíûå ïåðåõîäû (Ðèñ.1.3.4)  Ðèñ. 1.3.4 Ýïèòàêñèàëüíûé ïåðåõîä Ýïèòàêñèàëüíûå ïåðåõîäû îáðàçóþòñÿ îðèåíòèðîâàííûì íàïðàâëåíèåì ñëîÿ ìîíîêðèñòàëè÷åñêîãî ïîëóïðîâîäíèêà íà èñõîäíîì ìîíîêðèñòàëëå-ïîäëîæêå. Äëÿ ïðîâåäåíèÿ ýïèòàêñèè íåîáõîäèìî ñîçäàâàòü óñëîâèÿ äëÿ êîíäåíñàöèè àòîìîâ îñàæäàåìîãî âåùåñòâà íà ïîâåðõíîñòü ïîäëîæêè. Êîíäåíñàöèÿ ïðîèñõîäèò èç ïåðåñûùåíîãî ïàðà èëè æèäêîãî ðàñòâîðà, à òàêæå ïðè èñïàðåíèè îñàæäàåìîãî âåùåñòâà â âàêóóìå â ñïåöìàëüíûõ ðåàêòîðàõ. Ïðè íàðàùèâàíèè ïëåíêè ñ ïðîâîäèìîñòüþ ïðîòèâîïîëîæíîé ïîäëîæêå, îáðàçóåòñÿ Ð-N ïåðåõîä. Ïëàíàðíî-ýïèòàêñèàëüíûé ïåðåõîä.(Ðèñ.1.3.5) Ïðè èçãîòîâëåíèè èíòåãðàëüíûõ ñõåì øèðîêî èñïîëüçóþò ïëàíàðíî-ýïèòàêñèàëüíûé ìåòîä. îñîáåííîñòü òàêîãî òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà çàêëþ÷àåòñÿ â òîì, ÷òî ïóòåì íàðàùèâàíèÿ íà ïîäëîæêó [4] èç íèçêîîìíîíîãî êðåìíèÿ òîíêîãî ñëîÿ [3] âûñîêîîìíîãî ïîëóïðîâîäíèêà, ïîâòîðÿþùåãî ñòðóêòóðó ïîäëîæêè. Ýòîò ñëîé, íàçûâàåìûé ýïèòàêñèàëüíûì, ïîêðûâàþò ïëîòíîé çàùèòíîé ïëåíêîé SiO2 òîëùèíîé 1ìêì (ðèñ.8).  ïëåíêå ïðîòðàâëèâàþò îêíî, ÷åðåç êîòîðîå ïóòåì äèôôóçèè áîðà èëè àëëþìèíèÿ ñîçäàåòñÿ Ð-N ïåðåõîä [1], âûõîä êîòîðîãî íà ïîâåðõíîñòü îêàçûâàåòñÿ ñðàçó æå íàäåæíî çàùèùåííûì ïëåíêîé îêèñëà.  Ðèñ. 1.3.5 Ïëàíàðíî ýïèòàêñèàëüíûé ïåðåõîä Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî â ïîñëåäíèå ãîäû øèðîêîå ðàñïðîñòðàíåíèå ïîëó÷èëè òàêèå ìåòîäû ôîðìèðîâàíèÿ Ð-N ïåðåõîäîâ, êàê èîííîå ëåãèðîâàíèå è ìîëåêóëÿðíî-ëó÷åâàÿ ýïèòàêñèÿ. 1.4 Ýíåðãåòè÷åñêàÿ äèàãðàììà Ð-N ïåðåõîäà. Äëÿ àíàëèçà ôèçè÷åñêèõ ïðîöåññîâ â ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ óäîáíî èñïîëüçîâàòü ìåòîä ýíåðãåòè÷åñêèõ äèàãðàìì. Ýíåðãåòè÷åñêàÿ äèàãðàììà Ð-N ïåðåõîäà â ñîñòîÿíèè òåðìîäèíàìè÷åñêîãî ðàâíîâåñèÿ ïðåäñòàâëåíà íà ðèñ. 1.4.1.  Ðèñ. 1.4.1. Ýíåðãåòè÷åñêàÿ äèàãðàììà ðàâíîâåñíîãî Ð-N ïåðåõîäà. Íà îñè êîîðäèíàò îòëîæåíà ýíåðãèÿ ýëåêòðîíà Å. Ýíåðãèÿ äûðîê íà äèàãðàììå âîçðàñòàåò â íàïðàâëåíèè -Å. Òàê êàê ÷àñòèöû ñòðåìÿòñÿ çàíÿòü ñîñòîÿíèå ñ ìèíèìàëüíîé ýíåðãèåé, ýëåêòðîíû íà äèàãðàììå èìåþò òåíäåíöèþ “òîíóòü”, à äûðêè “âñïëûâàòü”. Ïðè îòñóòñòâèè âûðîæäåíèÿ îáùèé äëÿ âñåé ñèñòåìû óðîâåíü Ôåðìè ðàñïîëîæåí âíóòðè çàïðåùåííîé çîíû, øèðèíà êîòîðîé íå çàâèñèò îò êîîðäèíàòû. Óðîâåíü ýëåêòðîñòàòè÷åñêîé ýíåðãèè Fi ïîêàçàí íà ðèñ.1.4.1 ïóíêòèðîâ, ñîîòâåòñòâóåò ïîëîæåíèþ óðîâíÿ Ôåðìè â ñîáñòâåííîì ïîëóïðîâîäíèêå è ðàñïîëîæåí âáëèçè ñåðåäèíû çàïðåùåííîé çîíû. Ýíåðãåòè÷åñêèå óðîâíè èçîáðàæåíû ãîðèçîíòàëüíûìè ïðÿìûìè. Ýòî âûðàæàåò òîò ôàêò, ÷òî ýíåðãèÿ ýëåêòðîíà, íàõîäÿùåãîñÿ íà äàííîì óðîâíå, íàïðèìåð, íà äâå çîíû ïðîâîäèìîñòè, âî âñåõ òî÷êàõ ïîëóïðîâîäíèêà îäèíàêîâà. Ïîñëå óñòàíîâëåíèÿ ðàâíîâåñèÿ îáðàçóåòñÿ Ð-N ïåðåõîä ñ ïîòåíöèàëüíûì áàðüåðîì äëÿ îñíîâíûõ íîñèòåëåé ðàâíûì . Ýëåêòðîíû, ïåðåõîäÿùèå èç N- â Ð-îáëàñòü, ïðåîäîëåâàÿ ýòîò áàðüåð, óâåëè÷èâàåò ñâîþ ïîòåíöèàëüíóþ ýíåðãèþ íà . Ïîýòîìó âñå ýíåðãèòè÷åñêèå óðîâíè ïîëóïðîâîäíèêà, èñêðèâëÿÿñü â îáëàñòè Ð-N ïåðåõîäà, ïîäíèìàþòñÿ ââåðõ íï Åê, êàê ïîêàçàíî íà ðèñ.1.4.1. Ïðè ýòîì óðîâíè Ôåðìè  è  óñòàíàâëèâàþòñÿ íà äàííîé âûñîòå, êàê â ñëó÷àå äâóõ ìåòàëëîâ (íà ðèñ.1.4.1-F).  ýëåêòðè÷åñêèõ íåéòðàëüíûõ îáëàñòÿõ ýìèòòåðà () è áàçû () ïîëå ðàâíî íóëþ, è óðîâíè Åñ,Åv,Ei ðàñïîëîãàþòñÿ ãîðèçîíòàëüíî.  îáëàñòè Ð-N ïåðåõîäà () ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå íàïðàâëåíî ñïðàâî íàëåâî (âäîëü ãðàäèåíòà Fi). Ðàâíîâåñíàÿ êîíöåíòðàöèÿ íîñèòåëåé çàðÿäà â îòñóòñòâèè âûðîæäåíèÿ îïðåäåëÿåòñÿ âçàèìíûì ðàñïîëîæåíèåì óðîâíåé F è Fi.   ýìèòòåðå Ð-òèïà () ôåðìèåâñêàÿ ýíåðãèÿ ìåíüøå ýëåêòðè÷åñêîé ýíåðãèè: F<Fi .  áàçå N-òèïà: F>Fi .  ïëîñêîñòè ôèçè÷åñêîãî ïåðåõîäà Õ-Õô âûïîëíÿåòñÿ óñëîâèå Fi(Xô)=F.  âèäó èñêðèâëåíèÿ çàïðåùåííîé çîíû â îáëàñòè ïåðåõîäà ìåæäó ýìèòòåðîì è áàçîé ñóùåñòâóåò ýíåðãåòè÷åñêèé þàðüåð, âûñîòà êîòîðîãî ðàâíà ðàçíîñòè ýëåêòðîñòàòè÷åñêèõ ýíåðãèåé â N- è Ð-îáëàñòÿõ ðèñ.1.4.1  (16). Ñîîòâåòñòâåííî ïîòåíöèàëû ýìèòòåðà è áàçû îòëè÷àþòñÿ íà âåëè÷èíó , ãäå  - êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ. Ýíåðãåòè÷åñêèé áàðüåð ïðåïÿòñòâóåò äèôôóçèîçíûì ïîòîêàì ýëåêòðîíîâ èç áàçû â ýìèòòåð è äûðîê - èç ýìèòòåðà â áàçó. Âåëè÷èíà áàðüåðà àâòîìàòè÷åñêè ñòàíîâèòñÿ òàêîé, ÷òîáû òî÷íî ñêîìïåíñèðîâàòü äèôôóçèîííûå òîêè. 3. Òîêè ÷åðåç Ð-N ïåðåõîä â ðàâíîâåñíîì ñîñòîÿíèè. Ðàññìîòðèì çîííóþ äèàãðàììó Ð-N ïåðåõîäà. Ãðàäèåíòû êîíöåíòðàöèè ïîäâèæíûõ íîñèòåëåé çàðÿäà, à òàêæå ãðàäèåíò ýëåêòðè÷åñêîãî ïîòåíöèàëà â Ð-N ïåðåõîäå âûçûâàåò ïîÿâëåíèå äèôôóçèîííûõ è äðåéôîâûõ òîêîâ ÷åðåç ïåðåõîä. Ìåõàíèçì ïðîòåêàíèÿ ýòèõ òîêîâ ñõåìàòè÷åñêè ïðåäñòàâëåí íà ðèñóíêå 1.4.1, ãäå äûðêè èçîáðàæåíû êðóæêàìè ñî çíàêîì + ýëåêòðîíû - ñî çíàêîì -. Ïîòåíöèàëüíûé áàðüåð ñîçäàåò ðàçëè÷íûå óñëîâèÿ äëÿ ïåðåõîäà íîñèòåëåé â ñìåæíûå îáëàñòè. Íàïðèìåð, ýëåêòðîííûé ñëîé N ìîæåò ïåðåõîäèòü â ñëîé Ð òîëüêî â òîì ñëó÷àå, åñëè îí îáëàäàåò äîñòàòî÷íîé ýíåðãèåé äëÿ ïðåîäîëåíèÿ ñòóïåíè âûñîòîé Åê, òî åñòü åñëè îí ñìîæåò ïðåîäîëåòü ñèëû ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ, âûòàëêèâàþùèå åãî èç ïåðåõîäà îáðàòíî â N ñëîé. Ïåðåõîä æå ýëåêòðîíîâ èç Ð-ñëîÿ â N-ñëîé ñîâåðøàåòñÿ áåçïðåïÿòñòâåííî, áîëåå òîãî, ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå, äåéñòâóþùåå â ïåðåõîäå ïîìîãàåò èì (ýëåêòðîíû êàê áû “ñêàòûâàþòñÿ” èç Ð-ñëîÿ).  ñîòîÿíèè ðàâíîâåñèÿ ýòè ïîòîêè íîñèòåëåé âçàèìíîóðàâíîâåøèâàþò äðóã äðóãà. Àíàëîãè÷íàÿ ñèòóàöèÿ ñêëàäûâàåòñÿ â âàëåíòíîé çîíå. Äûðêè, ÷òîáû ïåðåéòè èç ñëîÿ Ð â ñëîé N äîëæíû “îïóñòèòüñÿ” íà ãëóáèíó Åê. Ïîñêîëüêî äâèæåíèå äûðîê âûçâàíî ïðîòèâîïîëîæíûì ïåðåìåùåíèåì ýëåêòðîíîâ, ÷òîáû ïðåîäîëåòü áàðüåð âûñîòîé Åê ïðè ïåðåõîäå èç Ð-ñëîÿ â N-ñëîé. Òî åñòü äûðêè, ïåðåõîäÿùèå èç Ð- â N-ñëîé, äîëæíû îáëàäàòü ýíåðãèåé áîëüøåé, ÷åì ýíåðãèÿ äåéñòâóþùåãî â ïåðåõîäå ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ. Îáðàòíîå æå äâèæåíèå äûðîê (èç N-ñëîÿ â Ð-ñëîé) ñîâåðøàåòñÿ áåçïðåïÿòñòâåííî. Òàêèì îáðàçîì â ðàâíîâåñíîì ñîñòîÿíèè â ïåðåõîäå ïðîòåêàåò öåëûé ðÿä ñîñòàâëÿþùèõ òîêà. Êîíöåíòðàöèè ýëåêòðîíîâ â çîíå ïðîâîäèìîñòè N-îáëàñòè óìåíüøàåòñÿ÷ ïî ìåðå óâåëå÷åíèÿ èõ ýíåðãèè îò óðîâíÿ Åñ. Ïîä äåéñòâèåì õàîòè÷åñêîãî òåïëîâîãî äâèæåíèÿ ýëåêòðîíû ìîãóò ïîïàäàòü èç N-îáëàñòè â Ð-N ïåðåõîä. Íàèìåíåå ýíåðãè÷íûå ýëåêòðîíû ( ñ ýíåðãèåé áëèçêîé Åñ) îòðàæàþòñÿ ïîòåíöèàëüíûì áàðüåðîì è âîçâðàùàþòñÿ â N-îáëàñòü. Áîëåå ýíåðãè÷íûå ýëåêòðîíû äàëüøå ïðîíèêàþò â îáëàñòü ïåðåõîäà, îäíàêî åñëè èõ êèíåòè÷åñêàÿ ýíåðãèÿ ìåíüøå âûñîòû áàðüåðà Åê, îíè òàêæå âîçâðàùàþòñÿ â N-îáëàñòü, íå âûçûâàÿ òîêà ÷åðåç ïåðåõîä è íàêîíåö ýíåðãè÷íûå ýëåêòðîíû ñ êèíåòè÷åñêîé ýíåðãèåé áîëüøåé Åê, ìîãóò ïðåîäîëåâàòü áàðüåð. Òàêèå íîñèòåëè âûçûâàþò ïðîòèêàíèå ÷åðåç ïåðåõðîä äèôôóçèîííîãî ýëåêòðîííîãî òîêà ñ ïëîòíîñòüþ jn äèôî(ðèñóíîê 1.4.1), íàïðàâëåííîãî âäîëü îñè Õ (ïî íàïðàâëåíèþ ýëåêòðîííîãî òîêà ïðîòèâîïîëîæíî íàïðàâëåíèþ ïîòîêà ýëåêòðîíîâ). Äèôôóçèîííûé òîê ïîëíîñòüþ êîìïåíñèðóåòñÿ âñòðå÷íûì ïîòîêîì ýëåêòðîíîâ èç Ð-îáëàñòè.  Ð-îáëàñòè ýëåêòðîíû ÿâëÿþòñÿ íåîñíîâíûìè íîñèòåëÿìè è ñîäåðæèòñÿ â íåáîëüøîì êîëëè÷åñòâå. Åñëè ïîä äåéñòâèåì òåïëîâîãî äâèæåíèÿ ýëåêòðîíû ïîïàäàþò èç Ð-îáëàñòè â ïåðåõîä, îíè ïîäõâàòûâàþòñÿ ýëåêòðè÷åñêèì ïîëåì ïåðåõîäà è ïåðåõîäÿò â N-îáëàñòü, âûçûâàÿ ïðîòåêàíèå ÷åðåç ïåðåõîä äðåéôîâîãî òîêà ýëåêòðîíîâ , íàïðàâëåííîãî ïðîòèâ îñè Õ (âäîëü ïîëÿ).  ñîñòîÿíèè òåðìîäèíàìè÷åñêîãî ðàâíîâåñèÿ äèôôóçèîííûé è äðåéôîâûé òîêè ýëåêòðîíîâ â òî÷íîòè êîìïåíñèðóþò äðóã äðóãà: (17). Àíàëîãè÷íûì îáðàçîì êîìïåíñèðóþòñÿ äèôôóçèîííàÿ è äðåéôîâàÿ ñîñòàâëÿþùàÿ äûðî÷íîãî òîêà: (18). Êðîìå ðàññìîòðåííûõ ìåõàíèçìîì ïðîòåêàíèÿ òîêîâ, ñóùåñòâóþò òîêè, ñâÿçàííûå ñ ïðîöåññàìè òåðìîãåíåðàöèè è ðåêîìáèíàöèè ýëåêòðîííî-äûðî÷íûõ ïàð â îáëàñòè ïåðåõîäà. Äûðêè è ýëåêòðîíû, ïðîíèêàþùèå â ïåðåõîä ñî ñòîðîíû Ð- è N-îáëàñòåé ñîîòâåòñòâåííî, èìåþò êîíå÷íóþ âåðîÿòíîñòü ðåêîìáåíèðîâàòü â ïåðåõîäå, ñ ýòèì ïðîöåññîì ñâÿçàí òîê, ïðîòåêàþùèé â íàïðàâëåíèè îñè Õ. Ñ äðóãîé ñòîðîíû, ïðè òåðìîãåíåðàöèè ýëåêòðîííî-äûðî÷íûõ ïàð â ïåðåõîäå îáðàçîâàâøèåñÿ íîñèòåëè çàðÿäà ïîäõâàòûâàþòñÿ ýëåêòðè÷åñêèì ïîëåì, ïðè÷åì ýëåêòðîíû ïåðåíîñÿòñÿ â N-îáëàñòü, à äûðêè â Ð-îáëàñòü. Âîçíèêàþùèé ïðè ýòîì òîê òåðìîãåíåðàöèè íàïðàâëåí ïðîòèâ îñè Õ (âäîëü ïîëÿ) è â òî÷íîñòè êîìïåíñèðóåò òîê ðåêîìáèíàöèè: (19). Ñóììàðíàÿ ïëîòíîñòü òîêà ÷åðåç ïåðåõîäû â ñîñòîÿíèè ðàâåíñòâà ðàâíû íóëþ: (20). Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî êàæäûé èç ðàññìîòðåííûõ òîêîâ èìååò ìàëóþ âåëè÷èíó.Äðåéôîâûå òîêè ìàëû ââèäó òîãî, ÷òî ïåðåíîñÿòñÿ íåîñíîâíûìè íîñèòåëÿìè â Ð- è N-îáëàñòÿõ, êîíöåíòðàöèÿ êîòîðûõ î÷åíü íèçêà. Äèôôóçèîííûå òîêè òàêæå ìàëû ââèäó òîãî, ÷òî ïåðåíîñÿòñÿ òîëüêî íàèáîëåå ýíåðãè÷íûìè íîñèòåëÿìè ñ êèíåòè÷åñêîé ýíåðãèåé, áîëüøå âûñîòû Åê, ÷èñëî êîòîðûõ òàêæå íåâåëèêî. Òîêè ðåêîìáèíàöèè ìàëû ââèäó ìàëûõ ðàçìåðîâ Ð-N ïåðåõîäà (÷èñëî ãåíåðèðîâàííûõ ïàð ìàëî) è ìàëî âðåìåíè ïðåáûâàíèÿ íîñèòåëåé â ïåðåõîäå (÷èñëî ðåêîìáåíèðóþùèõ ïàð ìàëî). 1.5 ÌÅÒÎÄÈÊÀ ÐÀÑ×ÅÒÀ ÏÀÐÀÌÅÒÐΠÐ-N ÏÅÐÅÕÎÄÀ. Îñíîâíûìè ïàðàìåòðàìè Ð-N ïåðåõîäà ÿâëÿþòñÿ: -êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ ; -øèðèíà ïåðåõîäà ; -ìàêñèìàëüíàÿ íàïðèæåííîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ . Íåîáõîäèìî òàêæå çíàòü ïðîòÿæåííîñòü ïåðåõîäà â N- è Ð-îáëàñòè ïî îòäåëüíîñòè() è ðàñïðåäåëåíèÿ íàïðÿæåííîñòè ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ â ïåðåõîäå . Êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåöèàëîâ ìîæåò áûòü îïðåäåëèíà ñ ïîìîùüþ ñîîòíîøåíèé:(14), (15) è (*).Ó÷èòûâàÿ, ÷òî êîíöåíòðàöèÿ íîñèòåëåé çàðÿäà íà ãðàíèöàõ ïåðåõîäà (â ïëîñêîñòÿõ õ=, õ=) ñîîòâåòñòâóåò ðàâíîâåñíûì çíà÷åíèÿì, ïîëó÷èì:  Ïåðåìíîæàÿ ðàâåíñòâî (21), (22) ñ ó÷åòîì (*),(8) è (9) ïîëó÷èì:  Ðàâåíñòâî (24) ñâèäåòåëüñòâóåò î òîì, ÷òî êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ îïðåäåëÿåòñÿ îòíîøåíèåì êîíöåíòðàöèé îäíîòèïíûõ íîñèòåëåé ïî ðàçíûå ñòîðîíû ïåðåõîäà, ÷òî ÿâëÿåòñÿ ïðÿìûì ñëåäñòâèåì ñòàòèñòèêè Ìàêñâåëëà Áîëüöìàíà â íåâûðàæäåííîì ïîëóïðîâîäíèêå. . Äëÿ ïðàêòè÷åñêèõ öåëåé óäîáíî ïîëüçîâàòüñÿ ñîîòíîøåíèåì (26), ïîçâîëÿþùèì âû÷èñëèòü êîíòàêòíóþ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ íåïîñðåäñòâåííî ÷åðåç êîíöåòðàöèè ëåãèðóþùèõ ïðèìåñåé. Èç ðèñ. 1.4.1 âèäíî, ÷òî ïðè îòñóòñòâèè âûðîæäåíèÿ (êîãäà óðîâåü Ôåðìè ëåæèò â çàïðåùåííîé çîíå) âûñîòà ïîòåíöèàëüíîãî áàðüåðà íå ìîæåò ïðåâûøàòü øèðèíû çàïðåùåííîé çîíû Å. Ïðè ýòîì: Èç ðèñ. 1.4.1 âèäíî, ÷òî êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ óâåëè÷èâàåòñÿ ñ óâåëè÷åíèåì ëåãèðîâàíèÿ ýìèòòåðà è áàçû. Ïåðåõîäû, èçãîòîâëåííûå íà îñíîâå ïîëóïðîâîäíèêà ñ áîëüøîé øèðèíîé çàïðåùåííîé çîíû (è, ñëåäîâàòåëüíî, ìåíüøåé ñîáñòâåííîé êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé çàðÿäà ), èìåþò áîëüøóþ êîíòàêòíóþ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ. Îñíîâíûì äîïóùåíèåì ïðè àíàëèçå ïåðåõîäà ÿâëÿåòñÿ ïåðåíåáðåæåíèå êîíöåíòðàöèÿìè ïðèìåñåé. Ïðè ýòîì ðàñïðåäåëåíèå ïëîòíîñòè îáúåìíîãî çàðÿäà îïèñûâàåòñÿ ñîîòíîøåíèåì:  Ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå ìîæåò áûòü íàéäåíî èç óðàâíåíèÿ Ïóàññîíà:  Ïðè ýòîì êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ ðàâíà:  Ïîñêîëüêó ôóíêöèÿ  ìåíÿåò çíàê â òî÷êå Õ=0, à íà ãðàíèöàõ ïåðåõîäà â ïîëå ðàâíî íóëþ - íàïðÿæåííîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ ñîñòàâëÿåò: (30). Óñëîâèå (30) ñîîòâåòñòóåò ýëåêòðè÷åñêîé íåéòðàëüíîñòè Ð-N ïåðåõîäà â öåëîì: (31). Óðàâíåíèå (26), (29) è (31) ìîãóò áûòü ðåøåíû îòíîñèòåëüíî íåèçâåñòíûõ  è  ïîñëå ÷åãî èç (30) îïðåäåëÿåòñÿ ìàêñèìàëüíîå ïîëå â Ð-N ïåðåõîäå. Ðàñ÷åò ïàðàìåòðîâ ñóïåí÷àòîãî Ð-N ïåðåõîäà. Íàèáîëåå ïðîñòî îïðåäåëÿþòñÿ ïàðàìåòðû ñòóïåí÷àòîãî Ð-N ïåðåõîäà, òàê êàê â ýòîì ñëó÷àå ôóíêöèè N(x) èìååò âèä:  à çíà÷åíèå ãðàíè÷íûõ óñëîâèé êîíöåíòðàöèé ïðèìåñè  è  èçâåñòíû:  (33);  (34). Êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ îïðåäåëÿåòñÿ èç óðàâíåíèÿ (26):  (35); Ïîäñòàâëÿÿ â (33), (26) è (29) ñ ó÷åòîì î÷åâèäíîãî ñîîòíîøåíèÿ  ïîëó÷èì:  (36);  (37);  (39). Ìàêñèìàëüíàÿ íàïðÿæåííîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ îïðåäåëÿåòñÿ èç (28):  (40). Èç (36) ñëåäóåò, ÷òî ïðè óñëîâèè  ïðàêòè÷åñêè âåñü ïåðåõîä ñîñðåäîòî÷åí â îáëàñòè áàçû (). Ïîñêîëüêî âåëè÷èíà  ñëàáî ëîãàðèôìè÷åñêè çàâèñèò îò êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè â ýìèòòåðå, ïðè  ïàðàìåòðû ïåðåõîäà îïðåäåëÿþòñÿ ïðàêòè÷åñêè òîëüêî ñâîéñòâîì áàçû:  (41);  (42). 1.6 Ñïèñîê îñíîâíûõ îáîçíà÷åíèé  - êîíöåíòðàöèÿ àêöåïòîðíîé (äîíîðíîé) ïðèìåñè;  - ðåçóëüòèðóþùàÿ êîíöåíòðàöèÿ ïðèìåñè;  - àáñîëþòíàÿ âåëè÷èíà ðåçóëüòèðóþùåé ïðèìåñè â ýìèòòåðå (áàçå);  - ñîáñòâåííàÿ êîíöåíòðàöèÿ íîñèòåëåé çàðÿäà;  - êîíöåíòðàöèÿ ýëåêòðîíîâ â n(p) îáëàñòè;  - êîíöåíòðàöèÿ äûðîê â p (n) îáëàñòè;  - ðàâíîâåñíàÿ êîíöåíòðàöèÿ ýëåêòðîíîâ â p (n) îáëàñòè;  - ðàâíîâåñíàÿ êîíöåíòðàöèÿ äûðîê â p (n) îáëàñòè;  - èçáûòî÷íàÿ êîíöåíòðàöèÿ ýëåêòðîíîâ â n (p) îáëàñòè;  - èçáûòî÷íàÿ êîíöåíòðàöèÿ äûðîê â p (n) îáëàñòè; F - ýíåðãèÿ Ôåðìè;  - íàïðÿæåííîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ;  - ýëåêòðè÷åñêèé ïîòåíöèàë;  - òåìïåðàòóðíûé ïîòåíöèàë;  - êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ; U - íàïðÿæåíèå; I - òîê; j - ïëîòíîñòü òîêà;  - ïîäâèæíîñòü ýëåêòðîíîâ (äûðîê);  - êîýô. äèôôóçèè ýëåêòðîíîâ (äûðîê);  - âðåìÿ æèçíè ýëåêòðîíîâ (äûðîê);  - äèôôóçèîííàÿ äëèíà ýëåêòðîíîâ (äûðîê);  - äåáàåâñêàÿ äëèíà ýêðàíèðîâàíèÿ; l - øèðèíà p-n ïåðåõîäà. 1.7 Îñíîâíûå ôèçè÷åñêèå êîíñòàíòû è ïàðàìåòðû ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëîâ  1.8 Ðàñ÷åòíàÿ ÷àñòü Ðàñ÷èòàòü ìàêñèìàëüíóþ íàïðÿæåííîñòü Ð-N ïåðåõîäà äëÿ ñëó÷àÿ: ; ; ; ; ;  Ê; .  Èñïîëüçóåì óðàâíåíèå , ãäå: k - ïîñòîÿííàÿ Áîëüöìàíà ; Ò - àáñîëþòíàÿ òåìïåðàòóðà; å - çàðÿä ýëåêòðîíà . . ; . ; . 2. Ôèçèêî-õèìè÷åñêèå ïðîöåññû èîííî-ïëàçìåíîãî ïîëó÷åíèÿ ïëåíîê. Èîííî-ïëàçìåííûå ìåòîäû ïîëó÷åíèÿ ïëåíîê â ïîñëåäíèå äåñÿòèëåòèå ïîëó÷èëè øèðîêîå ðàñïðîñòðàíåíèå â òåõíîëîãèè ÐÝÀ áëàãîäîðÿ ñâîåé óíèâåðñàëüíîñòè è ðÿäó ïðåèìóùåñòâ ïî ñðàâíåíèþ ñ äðóãèìè òåõíîëîãè÷åñêèìè ìåòîäàìè. Óíèâåðñàëüíîñòü ìåòîäîâ îïðåäåëÿåòñÿ òåì, ÷òî ñ èõ ïîìîùüþ ìîæíî îñóùåñòâèòü ðàçëè÷íûå òåõíîëîãè÷åñêèå ïðîöåññû: î÷èñòêó ïîäëîæåê, íàïûëåíèå ñëîåâ, òðàâëåíèå ñ öåëüþ ñîçäàíèÿ çàäàííîãî ðèñóíêà ÈÌÑ. Ê ïðåèìóùåñòâàì ìåòîäà îòíîñèòñÿ âîçìîæíîñòü ïðîâåäåíèÿ íàïûëåíèÿ è òðàâëåíèÿ ïðè íåâûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ è áåç ïðèìåíåíèÿ æèäêèõ õèìè÷åñêèõ ðåàãåíòîâ è ðàñòâîðèòåëåé. Îþû÷íî èñòî÷íèêîì áîìáàðäèðóþùèõ ÷àñòèö ñëóæèò ïëàçìà. Îíà ÿâëÿåòñÿ òåì “ðåàãåíòîì”, êîòîðûé îáåñïå÷èâàåò ïðîöåññû ðàñïûëåíèÿ è òðàâëåíèÿ ñëîåâ òâåðäîãî òåëà. Ðàññìîòðèì êðàòêî åå õàðàêòåðèñòèêè. 2.1 Õàðàêòåðèñòèêè ïëàçìû è åå ïàðàìåòðû. Ïëàçìîé íàçûâàþò èîíèçèðîâàííûé ãàç, êîòîðûé ñîñòîèò èç òðåõ âèäîâ ÷àñòèö: èîíîâ, ýëåêòðîíîâ è íåéòðàëüíûõ àòîìîâ (ìîëåêóë). Ýëåêòðè÷åñêèå ñèëû, ñâÿçûâàÿ ðàçíîèìåííî çàðÿæåííûå ÷àñòèöû, îáåñïå÷èâàþò êâàçèíåéòðàëüíîñòü ïëàçìû. Ñîñòîÿíèå ïëàçìû, èñïîëüçóååìîé â òåõíîëîãè÷åñêèõ öåëÿõ, ìîæíî îïèñàòü ñ ïîìîùüþ óðàâíåíèé êëàññè÷åèêîé ôèçèêè, ïîñêîëüêó êâàíòîâûå ýôôåêòû â ýòîì ñëó÷àå íå èãðàþò çàìåòíîé ðîëè.  òàáëèöå 2.1.1 ïðåäñòàâëåíû îñíîâíûå ïàðàìåòðû ïëàçìû, âëèÿþùèå íà ïðîòåêàþùèå â íåé ïðîöåññû. òàáëèöà 2.1.1.Ïàðàìåòðû ïëàçìû, âëèÿþùèå íà ïðîòåêàþùèå â íåé ôèçèêî-õèìè÷åñêèå ïðîöåññû  Ïëåíêè ïîëó÷àþò èííî-ïëàçìåííûì è ìàãíåòðîííûì ðàñïûëåíèÿìè. Âíà÷àëå ðàññìîòðèì ïîëó÷åíèå ïëåíîê ìàãíåòðîííûì ðàñïûëåíèåì. 2.2 Ïîëó÷åíèå ïëåíîê ìàãíåòðîííûì ðàñïûëåíèåì Ñòðåìëåíèå îñóùåñòâèòü èîííî-ïëàçìåííûå ïðîöåññû â âûñîêîì âàêóóìå è ïîâûñèòü èõ ïðîèçâîäèòåëüíîñòü çà ñ÷åò ðîñòà ñêîðîñòåé ðàñïûëåíèÿ ïðèâåëî ê ñîçäàíèþ ìåòîäà ìàãíåòðîííîãî ðàñïûëåíèÿ. Ïðè ýòîì ýëåêòðîíû, ýìèòòèðóåìûå èç ìèøåíè ïàäàþùèìè èîíàìè, çàõâàòûâàþòñÿ ìàãíèòíûì ïîëåì è ïîä äåéñòâèåì åãî ñîâåðøàþò ñëîæíîå öèêëîèäàëüíîå äâèæåíèå ïî çàìêíóòûì òðàåêòîðèÿì âáëèçè ïîâåðõíîñòè ìèøåíè. Ýòîò ìåòîä ðàñïûëåíèÿ ïîëó÷èë ñâîå íàçâàíèå îò ÑÂ× ïðèáîðîâ Ì-òèïà (ìàãíåòðîííûõ óñòðîéñòâ) èç-çà íàëè÷èÿ â ðàáî÷åé êàìåðå ñðåùåííûõ ýëåêòðè÷åñêîãî è ìàãíèòíîãî ïîëåé. Áîëåå âûñîêàÿ ïëîòíîñòü ïîòîêà èîíîâ, ÷åì ïðè êàòîäíîì ðàñïûëåíèè, è áîëüøàÿ óäåëüíàÿ ìîùíîñòü, ðàññåèâàåìàÿ íà ìèøåíè, óâåëè÷èâàþò ñêîðîñòü ðàñïûëåíèÿ ìàòåðèàëà. Äâèæåíèå çàðÿæåííûõ ÷àñòèö â ïëàçìå ïðè ìàãíåòðîííîì ðàñïûëåíèè ïîçâîëÿåò óñòàíîâèòü îñíîâíûå çàêîíîìåðíîñòè ýòîãî ìåòîäà ïîëó÷åíèÿ òîíêèõ ïëåíîê ðàçëè÷íûõ ìàòåðèàëîâ. Îïèñàòüò òðàåêòîðèþ äâèæåíèÿ ýëåêòðîíîâ â ñêðåùåííûõ ýëåêòðè÷åñêîì è ìàãíèòíîì ïîëÿõ ìîæíî, ðàçëîæèâ ýòî äâèæåíèå íà äâå ñîñòàâëÿþùèå:äèôôóçèîííóþ è íàïðàâëåíóþ. Ïðåîáëàäàíèå òîé èëè èíîé ñîñòàâëÿþùåé çàâèñèò îò äàâëåíèÿ ãàçà ð è íàïðÿæåííîñòè ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ Å. Îòíîøåíèå Å/ð õàðàêòåðåçóåò äâèæåíèå ÷àñòèö. Ýôôåêòèâíîñòü ðàáîòû ìàãíåòðîííîé ðàñïûëèòåëüíîé ñèñòåìû (ÌÐÑ) çàâèñèò îò ïðàâèëüíîãî âûáîðà ïàðàìåòðîâ ÒÏ è èõ ñòàáèëüíîñòè. Îñíîâíûì òèïîì äâèæåíèÿ çàðÿæåííîé ÷àñòèöû â ïëîñêîñòè, ïåðïåíäèêóëÿðíûé ìàãíèòíîìó ïîëþ, ÿâëÿåòñÿ öèêëîòðîííîå âðàùåíèå.Ãëàâíûìè ïàðàìåòðàìè ýòîãî äâèæåíèÿ ÿâëÿþòñÿ: öèêëîòðîííûé ðàäèóñ âðàùåíèÿ ÷àñòèöû (ëàðìîðîâñêèé ðàäèóñ) rë, öèêëîòðîííàÿ ÷àñòîòà . Ñîâìåñòíîå äåéñòâèå ýëåêòðè÷åñêîãî è ìàãíèòíîãî ïîëåé âûçûâàåò äðåéô çàðÿæåííîé ÷àñòèöû â íàïðàâëåíèè, ïåðïåíäèêóëÿðíîì îáîèì ïîëÿì.Òðàåêòîðèÿ ÷àñòèöû ïðè äâèæåíèè áåç íà÷àëüíîé ñêîðîñòè â îäíîðîäíîì ýëåêòðè÷åñêîì è ìàãíèòíîì ïîëÿõ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé öèêëîèäó.  ñêðåùåííûõ ýëåêòðè÷åñêîì è ìàãíèòíûõ ïîëÿõ ìîãóò ñóùåñòâîâàòü è äðóãèå òèïû äðåéôîâûõ äâèæåíèé, íàïðèìåð ãðàäèåíòíîå è öåíòðîáåæíîå, âûçûâàåìûå íåîäíîðîäíîñòüþ ìàãíèòíîãî ïîëÿ è èñêðèâëåíèåì åãî ñèëîâûõ ëèíèé. Ñêîðîñòè ýòèõ âèäîâ äâèæåíèé çàâèñÿò îò ìàññû è çàðÿäà ÷àñòèö, ÷òî ïðèâîäèò ê ðàçäåëåíèþ çàðÿäîâ è ïîÿâëåíèþ òîêîâ. Ñóìàðíàÿ ñêîðîñòü äâèæåíèÿ çàðÿæåííîé ÷àñòèöû â ìàãíèòíîì ïîëåì ñ èçîãíóòûìè ñèëîâûìè ëèíèÿìè ñëàãàåòñÿ èç ñêîðîñòåé ãðàäèåíòíîãî è öåíòðîáåæíîãî äðåéôîâ.  ÌÐÑ íåîäíîðîäíûìè ÿâëÿþòñÿ êàê ýëåêòðè÷åñêàÿ, òàê è ìàãíèòíîå ïîëÿ, ïîýòîìó â ïëàçìå ðàçðÿäà ñóùåñòâóþò âñå ïåðå÷èñëåííûå òèïû äðåéôîâûõ äâèæåíèé çàðÿæåííûõ ÷àñòèö. Ïðè íèçêîì äàâëåíèè ðàçðÿä â ÌÐÑ ñ õîëîäíûì êàòîäîì ïîääåðæèâàåòñÿ òîëüêî çà ñ÷åò âòîðè÷íûõ ýëåêòðîíîâ, ýìèòòèðóåìûõ ñ êàòîäà â ðåçóëüòàòå èîííîé áîìáàðäèðîâêè. Âûáèòûå èç êàòîäà ýëåêòðîíû óñêîðÿþòñÿ â îáëàñòè òåìíîãî êàòîäíîãî ïðîñòðàíñòâà (ÒÊÏ) è ñ áîëüøèìè ýíåðãèÿìè âõîäÿò â îáëàñòü ïëàçìû, ãäå ñîâåðøàþò èîííèçèðóþùåå ñòîëêíîâåíèÿ ñ àòîìàìè ðàáî÷åãî ãàçà äî òåõ ïîð, ïîêà íå ïîòåðÿþò ýíåðãèþ èëè íå ïîïàäóò íà àíîä. Êàê ïðàâèëî,  ó èîíîâ áîëåå ÷åì íà äâà ïîðÿäêà âûøå, ÷åì ó ýëåêòðîíîâ, ïîýòîìó ïðè èñïîëüçóåìûõ â ÌÐÑ ìàãíèòíûõ ïîëÿõ è â íåáîëüøîé îáëàñòè ñóùåñòâîâàíèÿ ïëàçìû ìàãíèòíîå ïîëå ïðàêòè÷åñêè íå âëèÿåò íà òðàåêòîðèþ äâèæåíèÿ èîíîâ, êîòîðûå ïîä äåéñòâèåì ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ ñâîáîäíî äâèæóòñÿ ê ìèøåíè ïî òðàåêòîðèÿì, áëèçêèì ê ïðÿìîëèíåéíûì. Ýëåêòðîíû æå, ïåðåìåùàÿñü ïî ñëîæíûì òðàåêòîðèÿì â îáëàñòè ìàãíèòíîé ëîâóøêè, ñîâåðøàþò ìíîãîêðàòíûå ñòîëêíîâåíèÿ ðàáî÷åãîî ãàçà. Ñëåäîâàòåëüíî, ñïðàâåäëèâî ïðåäïîëîæèòü, ÷òî îñíîâíóþ ðîëü â ïðîöåññàõ îáðàçîâàíèÿ è ïîääåðæàíèÿ ïëàçìû â ìàãíåòðîííûõ ðàñïûëèòåëüíûõ ñèñòåìàõ èãðàþò ýëåêòðîíû. Äëÿ óäîáñòâà àíàëèòè÷åñêîãî îïèñàíèÿ òðàåêòîðèþ ìîæíî ñ÷èòàòü öèêëîèäàëüíîé. Ýäåêòðîí, óñêîðàÿñü â îáëàòñè òåìíîãî êàòîäíîãî ïðîñòðàíñòâà (ÒÊÏ) øèðèíîé  ïî òðàåêòîðèè, áëèçêîé ê öèêëîèäàëüíîé, óäàëÿåòñÿ îò êàòîäà íà ðàññòîÿíèå  è ïîïàäàåò â îáëàñòü ïëàçìû.  îáùåì ñëó÷àå . Åñëè ñ÷èòàòü ýòè âåëè÷èíû áëèçêèìè ïî çíà÷åíèþ, à ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå â îáëàñòè ÒÊÏ äîñòàòî÷íî îäíîðîäíûì, òî , ò.å. ýëåêòðîí óäàëÿåòñÿ îò êàòîäà íà ðàññòîÿíèå ëàðìîðîâñêèõ ðàäèóñîâ. Øèðèíó ÒÊÏ (2.2.1) ìîæíî ñ÷èòàòü ìàêñèìàëüíî âîçìîæíîé, ïîñêîëüêó â ýòîì ñëó÷àå ïðàêòè÷åñêè âñå ýëåêòðîíû ñ êàòîäà äâèæóòñÿ â îáëàñòè ÒÊÏ è íå çàõîäÿò â îáëàñòü îòðèöàòåëüíîãî ñâå÷åíèÿ ïëàçìû, ãäå îíè ýôôåêòèâíî èîíèçèðóþò ãàç. Ðåàëüíóþ øèðèíó ÒÊÏ ìîæíî ïðèáëèæåííî âûðàçèòü ÷åðåç ïëîòíîñòü èîííîãî òîêà ïî ôîðìóëå ×àéëäà-Ëåíãìþðà:  (2.2.2), ãäå  - ìàññà èîíà, êã;  - ïëîòíîñòü èîííîãî òîêà êàòîäà, . Åñëè ýëåêòðîí íå ñòîëêíîòñÿ íà ñâîåì ïóòè ñ äðóãîé ÷àñòèöåé, òî îí âîçâðàùàåòñÿ ê êàòîäó è çàõâàòûâàåòñÿ èì. Âåðîÿòíîñòü çàõâàòà äîëæíà áûòü äîâîëüíî âûñîêé, ïîñêîëüêó äëèíà ñâîáîäíîãî ïðîáåãà ýëåêòðîíà çíà÷èòåëüíî áîëüøå äëèíû öèêëîèäû. Îäíàêî èç-çà âîëíîâûõ ïðîöåññîâ â ïëàçìå è íåîäíîðîäíîñòè ìàãíèòíîãî è ýëåêòðè÷åñêèõ ïîëåé âåðîÿòíîñòü çàõâàòà óìåíüøàåòñÿ è íå ïðåâûøàåò 0,5. Ýëåêòðîíû, êîòîðûå ïîïàäàþò â ìàãíèòíóþ ëîâóøêó è íå âîçâðàùàþòñÿ íà êàòîä, ñîâåðøàþò èîíèçèðóþùåå ñòîëêíîâåíèÿ â ïëàçìå è ïåðåìåùàþòñÿ â ñòîðîíó àíîäà. Ïîñëå íåñêîëüêèõ ñòîëêíîâåíèé ýëåêòðîíû òåðÿþò ýíåðãèþ è äèôôóíäèðóþò ê àíîäó. Îáëàñòü ñóùåñòâîâàíèÿ ïëàçìû îãðàíè÷èâàåòñÿ ïðåäåëàìè, â êîòîðûõ ýëåêòðîíû òåðÿþò ñâîþ ýíåðãèþ. Ãðàíèöà ýòîé îáëàñòè â ðàçðÿäå ÌÐÑ ÿâëÿåòñÿ, ïî ñóùåñòâó, óñëîâíûì àíîäîì. Ðåàëüíûé àíîä ÌÐÑ äîëæåí ðàñïîëîãàòüñÿ îò öåíòðà çîíû ðàñïûëåíèÿ íà ðàññòîÿíèè íå ìåíüøå ðàñòîÿíèÿ îò êàòîäà äî óñëîâíîãî àíîäà, òàê êàê â ïðîòèâíîì ñëó÷àå îí áóäåò çàõâàòûâàòü èç ìàãíèòíîé êàòóøêè ýëåêòðîíû, ñïîñîáíûå èîíèçèðîâàòü ãàç, â ðåçóëüòàòå ÷åãî ýôôåêòèâíîñòü ðàçðÿäà óìåíüøèòñÿ. Ïðè ïåðåôåðèéíîì ðàñïîëîæåíèè â ïëîñêèõ ÌÐÑ àíîä äîëæåí óñòàíàâëèâàòüñÿ âíå îáëàñòåé âõîäà è âûõîäà ñèëîâûõ ëèíèé ìàãíèòíîãî ïîëÿ. Ëîêàëèçàöèÿ ïëàçìû àíîìàëüíîãî òëåþùåãî ðàçðÿäà ó ðàñïûëÿåìîé ïîâåðõíîñòè ìèøåíè ÿâëÿåòñÿ îäíîé èç îñîáåííîñòåé ÌÐÑ. Ïðè ýòîì ïëàçìà èìååò ôîðìó, áëèçêóþ ê òîðîèäàëüíîé; ñòåïåíü åå èîíèçàöèè ìàêñèìàëüíà â öåíòðàëüíîé ÷àñòè íàä çîíîé ðàñïûëåíèÿ. Ïðè÷èíà ëîêàëèçàöèè ïëàçìû îòíîñèòåëüíî ñðåäíåé ëèíèè çîíû ðàñïûëåíèÿ îáúÿñíÿåòñÿ íåîäíîðîäíîñòüþ ìàãíèòíîãî è ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëåé. Ôîðìèðîâàíèå ïðîñòðàíñòâåííûõ çàðÿäîâ ïëàçìû â ñêðåùåííûõ ýëåêòðè÷åñêîì è ìàãíèòíîì ïîëÿõ, îáðàçóåìûõ êîàêñèàëüíûìè öèëèíäðè÷åñêèìè ýëåêòðîäàìè, è ñòðóêòóðà ðàçðÿäà çàâèñÿò îò õàðàêòåðèñòèê ìàãíèòíîãî ïîëÿ. Ïðè äîñòàòî÷íî ñèëüíîì ìàãíèòíîì ïîëå ïî÷òè âñå ïàäåíèå íàïðÿæåíèÿ ïðîèñõîäèò â àíîäíîì ñëîå. Ýëåêòðîíû, óñêîðÿÿñü â ýòîé îáëàñòè, èîíèçèðóþò àòîìû ãàçà, â ðåçóëüòàòå ÷åãî äîìèíèðóþùåé îáëàñòüþ èîíèçàöèè ñòàíîâèòñÿ ïðèàíîäíàÿ îáëàñòü. Òàêèì îáðàçîì, ïðè ñêðåùåííûõ ýëåêòðîìàãíèòíûõ ïîëÿõ ìîãóò íàáëþäàòüñÿ òðè òèïà ðàçðÿäà â çàâèñèìîñòè îò íàïðÿæåííîñòè ìàãíèòíîãî ïîëÿ: 1) Ðàçðÿä â îáëàñòè êàòîäíîãî ïàäåíèÿ ïîòåíöèàëà; 2) ðàçðÿä â îáëàñòè àíîäíîãî ïàäåíèÿ ïîòåíöèàëà; 3) ðàçðÿä ïðè îäíîâðåìåííîì ñóùåñòâîâàíèè îáåèõ îáëàñòåé. Ïåðâûé òèï ðàçðÿäà íàáëþäàåòñÿ â îáû÷íûõ ðàñïûëèòåëüíûõ ñèñòåìàõ â ìàãíåòðîííûõ ñèñòåìàõ ñî ñëàáûì ìàãíèòíûìè ïîëÿìè (B=0,01-0,03 Òë). Îí õàðàêòåðèçóåòñÿ íàëè÷èåì ó êàòîäà îáëàñòè ñ ïîëîæèòåëüíûì ïðîñòðàíñòâåííûì çàðÿäîì. Èíäóêöèÿ ìàãíèòíîãî ïîëÿ, ïðè êîòîðîì âîçíèêàåò ýòîò òèï ðàçðÿäà, çàâèñèò îò êîíêðåòíîé ðàçðÿäíîé ñèñòåìû, ðàáî÷åãî äàâëåíèÿ è ðÿäà äðóãèõ ôàêòîðîâ. Äëÿ ðàñïûëåíèÿ ìàòåðèàëà íàèáîëåå ýôôåêòèâåí ðàçðÿä ñ ïîëîæèòåëüíûì ïðîñòðàíñòâåííûì çàðÿäîì è êàòîäíûì ïàäåíèåì ïîòåíöèàëà. Ðàçðÿä ïðè îäíîâðåìåííîì ñóùåñòâîâàíèè êàòîäíîãî è çíà÷èòåëüíîãî àíîäíîãî ïîòåíöèàëîâ òàêæå ýôôåêòèâåí, ïîñêîëüêó îí îáåñïå÷èâàåò ðàâíîìåðíîå ðàñïðåäåëåíèå ïëîòíîñòè òîêà íà ðàñïûëÿåìîé ïîâåðõíîñòè ìèøåíè. Âëèÿíèå ìàãíèòíîãî ïîëÿ è äàâëåíèÿ íà ðàçðÿä ñóùåñòâåííî.  îáû÷íûõ èîííî-ïëàçìåííûõ ðàñïûëèòåëüíûõ ñèñòåìàõ ðàñïûëåíèå âîçìîæíî ïðè äàâëåíèÿõ , ãäå  - äëèíà ñâîáîäíîãî ïðîáåãà ýëåêòðîíà ïðè äàííîì äàâëåíèè.  ÌÐÑ ìàãíèòíîå ïîëå óâåëè÷èâàåò òðàåêòîðèþ äâèæåíèÿ ýëåêòðîíîâ â ìåæýëåêòðîäíîì ïðîìåæóòêå, à ñëåäîâàòåëüíî, âîçðàñòàåò è ÷èñëî ñòîëêíîâåíèé ñ àòîìàìè ðàáî÷åãî ãàçà.  ðåçóëüòàòå ýòîãî ðàçðÿä ñóùåñòâóåò ïðè áîëåå íèçêèõ äàâëåíèÿõ. Òàêèì îáðàçîì, ìîæíî ñ÷èòàòü, ÷òî íàëîæåíèå ìàãíèòíîãî ïîëÿ ýêâèâàëåíòíî óâåëå÷åíèþ äàâëåíèÿ ãàçà. Àíàëèç ôèçè÷åñêèõ ïðîöåññîâ, ïðîèñõîäÿùèõ â ÌÐÑ, ïîçâîëÿåò âûáðàòü îïòèìàëüíûå êîíñòðóêòèâíûå è òåõíîëîãè÷åñêèå õàðàêòêåðèñòèêè ýòèõ ñèñòåì. Íàèáîëåå ïîëíóþ èíôîðìàöèþ î ìåõàíèçìå ðàçðÿäà ìîæíî ïîëó÷èòü, ïîñòðîèâ ÂÀÕ ÌÐÑ (ðèñ.2.2.1).  Ðèñóíîê 2.2.1. ÂÀÕ ïëàíàðíîé ÌÐÑ; 1- ð=0,1 Ïà; 2 - ð=0,25 Ïà; 3 - ð=1,3 Ïà. Êàê âèäíî èç ðèñóíêà 2.2.1, ÂÀÕ ÌÐÑ, ïîñòðîåííûå â ëîãàðèôìè÷åñêîì ìàñøòàáå, ïðåäñòàâëÿþò ñîáîé ëèíåéíûå çàâèñèìîñòè. Çíà÷èòåëüíîå îòêëîíåíèå îò ëèíåéíîñòè íàáëþäàåòñÿ ëèøü ïðè íèçêèõ äàâëåíèÿõ è íåáîëüøèõ èíäóêöèÿõ ìàãíèòíîãî ïîëÿ. Ýòî ÿâëÿåòñÿ ðåçóëüòàòîì óòå÷êè ýëåêòðîíîâ èç îáëàñòè ïëàçìû âñëåäñòâèè òîãî, ÷òî èõ öèêëîòðîííûé ðàäèóñ ïðè ñëàáûõ ìàãíèòíûõ ïîëÿõ ïðåâûøàåò ðàññòîÿíèå ìåæäó êàòîäîì è àíîäîì. ÂÀÕ ðàçðÿäà â ÌÐÑ ìîæíî ýêñòðàïîëèðîâàòü âûðàæåíèåì I=K2(U-UÇ)2,(2.2.3) ãäå K2 - êëýôôèöèåíò ïðîïîðöèîíàëüíîñòè; UÇ - íàïðÿæåíèå çàæèãàíèÿ ðàçðÿäà. Çàâèñèìîñòü êîýôôåöèåíòà K2 îò ïàðàìåòðîâ ÌÐÑ â êàæäîì êîíòêðåòíîì ñëó÷àå îïðåäåëÿåòñÿ ýìïèðè÷åñêè. Ðàáî÷åå íàïðÿæåíèå ÌÐÑ çàâèñèò îò äàâëåíèÿ ð â íåé ðàáî÷åãî ãàçà è èíäóêöèè ìàãíèòíîãî ïîëÿ. Çàâèñèìîñòü ðàáî÷åãî íàïðÿæåíèÿ îò èíäóêöèè ìîæíî ïðåäñòàâèòü â âèäå: U=K3Bn,(2.2.4) ãäå K3 êîýôôèöèåíò ïðîïîðöèîíàëüíîñòè; n=-(1-2) äëÿ ñëàáûõ ìàãíèòíûõ ïîëåé è 0,3...0,5 äëÿ ñèëüíûõ. Ñòàáèëüíûé ðàçðÿä ñóùåñòâóåò â îáëàñòè îïðåäåëåííûõ çíà÷åíèèé B è ð; ×åì íèæå ð, òåì ïðè áîëüøèõ  ìîæåò ñóùåñòâîâàòü ðàçðÿä. 2.3 Ïîëó÷åíèå ïëåíîê èîííî-ïëàçìåííûì ðàñïûëåíèåì Ðàçëè÷àþò äâà âèäà ðàñïûëåíèÿ:ôèçè÷åñêîå (êàòîäíîå) è õèìè÷åñêîå (ðåàêòèâíîå).Ôèçè÷åñêîå ðàñïûëåíèå ÿâëÿåòñÿ ðåçóëüòàòîì ñòîëêíîâåíèÿ ìåæäó ïàäàþùèì èîíîì è àòîìàìè ìèøåíè è çàâèñèò îò ýíåðãèè ïàäàþùèõ èîíîâ. Õèìè÷åñêîå ðàñïûëåíèå ïðîòåêàåò â òîì ñëó÷àå, êîãäà ðåàêöèîííîñïîñîáíûé èîí ïëàçìû îáðàçóåò ëåòó÷åå ñîåäèíåíèå ñ àòîìàìè èëè ìîëåêóëàìè ìèøåíè.  ýòîì ñëó÷àå ýíåðãèÿ ïàäàþùåãî èîíà íå èãðàåò ñóùåñòâåííîé ðîëè. Äëÿ îïèñàíèÿ ïðîöåññîâ ôèçè÷åñêîãî ðàñïûëåíèÿ èñïîëüçóþò ìîäåëè, îñíîâàííûå íà äâóõ ìåõàíèçìàõ. Ñîãëàñíî ïåðâîìó ìåõàíèçìó ðàñïûëåííûå àòîìû âîçíèêàþò â ðåçóëüòàòå ñèëüíîãî ëîêàëüíîãî ðàçîãðåâà ïîâåðõíîñòè ìèøåíè ñàìèì ïàäàþùèì èîíîì(ìîäåëü “ãîðÿ÷åãî ïÿòíà”)èëè áûñòðîé âòîðè÷íîé ÷àñòèöåé(ìîäåëü “òåïëîâîãî êëèíà”). Âòîðîé ìåõàíèçì ñîñòîèò â ïåðåäà÷å èìïóëüñà ïàäàþùåãî èîíà àòîìàì ðåøåòêè ìàòåðèàëà ìèøåíè, êîòîðûå, â ñâîþ î÷åðåäü, ìîãóò ïåðåäàòü èìïóëüñ äðóãèì àòîìàì ðåøåòêè, âûçâàâ òåì ñàìûì êàñêàä ñòîëêíîâåíèé (ìîäåëü ñòîëêíîâåíèé).  ñëó÷àå, êîãäà ïîâåðõíîñòíûé àòîì ïîëó÷èò ýíåðãèþ, äîñòàòî÷íóþ äëÿ ðàçðûâà ñâÿçè ñ áëèæàéøèìè ñîñåäÿìè, è èìïóëüñ áóäåò íàïðàâëåí â ñòîðîíó ïðàâîé ôàçû, àòîì ïåðåéäò â ïðàâóþ ôàçó. Ïðè ýòîì íàïðàâëåíèå ïîëåòà àòîìà äîëæíî ñîîòâåñòâîâàòü íàïðàâëåíèþ ïîëó÷åííîãî èì èìïóëüñà. Íå òðóäíî ïîêàçàòü, ÷òî ýíåðãèÿ òàêîãî èìïóëüñà íàèìåíüøàÿ, åñëè îí íîðìàëåí ê ïîâåðõíîñòè ìèøåíè. Ýíåðãèÿ àòîìà, ïîêèäàþùåãî ïîâåðõíîñòü ìèøåíè è ïåðåõîäÿùåãî â ïàð, ðàâíà èëè ïðåâûøàåò ýíåðãèþ èñïàðåíèÿ è ñîñòàâëÿåò ëèøü ÷àñòü ýíåðãèè áîìáàðäèðóþùåé ÷àñòèöû, êîòîðàÿ òðàòèòñÿ â îñíîâîíì íà ðàäèîöèîííûå ïîâðåæäåíèÿ êðèñòàëè÷åñêîé ðåøåòêè ìèøåíè. Êîëè÷åñòâåííîé õàðàêòåðèñòèêîé ïðîöåññà êàòîäíîãî ðàñïûëåíèÿ ÿâëÿåòñÿ êîýôôèöèåíò ðàñïûëåíèÿ ÊÏ, ðàâíûé êîëè÷åñòâó àòîìîâ âûáèòûõ ñ ïîâåðõíîñòè ìèøåíè îäíîé áîìáàðäèðóþùåé ÷àñòèöåé: (2.3.1), ãäå k - êîýôôèöèåíò õàðàêòåðèçóþùèé ôèçè÷åñêîå ñîñòîÿíèå ìèøåíè è îïðåäåëÿåìûé ýêñïåðèìåíòàëüíî;  - ìàññà áîìáàðäèðóþùèõ èîíà è à àòîìà ìèøåíè,  - ýíåðãèÿ èîíà. Äëèíà ñâîáîäíîãî ïðîáåãà èîíà (2.3.2), ãäå  - äèàìåòð ñå÷åíèÿ ñòîëêíîâåíèÿ èîíà è àòîìà,  - êîíöåíòðàöèÿ àòîìîâ â ìèøåíè. Çíà÷åíèå , ïîëó÷àåìîå èç óðàâíåíèÿ (2.3.1) õîðîøî ñîãëàñóåòñÿ ñ ýêñïåðèìåíòàëüíûìè äàííûìè. Ðàññìîòðåííûé ìåõàíèçì âçàèìîäåéñòâèÿ ÷àñòèö ïîçâîëÿåò îáúÿñíèòü òàêèå ôàêòû, êàê ñóùåñòâîâàíèå ïîðîãîâîé ýíåðãèè èîíà (îáû÷íî íåñêîëüêî áîëüøåé ýíåðãèè èñïàðåíèÿ), íèæå êîòîðîé ðàñïûëåíèå íå ïðîèñõîäèò; çíà÷èòåëüíîå ïðåâûøåíèå ýíåðãèè ðàñïûëÿåìûõ àòîìîâ ýíåðãèè èñïàðÿåìûõ ÷àñòèö; íàèëó÷øåå ðàñïûëåíèå àòîìîâ âäîëü êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé ïëîñêîñòè ñ íàèáîëüøåé ïëîòíîñòüþ àòîìîâ; óìåíüøåíèå êîýôôèöèåíòà  ïðè áîëüøèõ ýíåðãèÿõ áîèáàðäèðóþùèõ èîíîâ; îòñóòñòâèå ýëåêòðîííîãî ðàñïûëåíèÿ; íåçíà÷èòåëüíîå âëèÿíèå íà êîýôôèöèåíò ðàñïûëåíèÿ òåìïåðàòóðû ìèøåíè.  òîì ñëó÷àå, êîãäà êîìïîíåíòû ñïëàâà ðàñïûëÿþòñÿ èç ðàçíûõ èñòî÷íèêîâ ïðè îäíîé è òîé æå ýíåðãèè èîíîâ, ðåãóëèðîâàòü ñîñòàâ îñàæäåííîé ïëåíêè ìîæíî ïóòåì ïîäáîðà ïëîùàäåé êàòîäîâ. Ïðè ýòîì îáåñïå÷èâàåòñÿ ïîëó÷åíèå ïëåíîê çàäàííîãî ñîñòàâà. Äëÿ ðàñ÷åòà ñîñòàâà äâóõêîìïîíåíòíîãî ñïëàâà ìîæíî âîñïîëüçîâàòüñÿ ñëåäóþùèì ñîîòíîøåíèåì:  (2.3.3), ãäå y - ÷èñëî àòîìîâ êîìïîíåíòà;  - ïëîùàäè ìèøåíèé; èíäåêñû 1 è 2 îòíîñÿòñÿ ê êîìïîíåíòàì ñïëàâà. Ðåãóëèðîâàòü ñîñòàâ îñàæäàåìîé ïëåíêè ìîæíî è äðóãèì ñïîñîáîì, íàïðèìåð, èçìåíÿÿ íàïðÿæåíèå, ïðèëîæåííîå ê êàæäîìó êàòîäó. Êîìáèíèðóÿ îáà ñïîñîáà, ïîëó÷àþò ïëåíêè ìíîãîêîìïàíåíòíûõ ñïëàâîâ ïðàêòè÷åñêè ëþáîãî ñîñòàâà. Äëÿ ïîíèìàíèÿ ôèçèêî-õèìè÷åñêèõ ïðîöåññîâ, ïðîòåêàþùèõ ïðè èîííî-ïëàçìåííîì (êàòîäíîì) ðàñïûëåíèè, ðàññìîòðèì çàâèñèìîñòü êîýôôèöèåíòà ðàñïûëåíèÿ îò ðàçëè÷íûõ ïàðàìåòðîâ ñîñòîÿíèÿ ñèñòåìû. Êàê âèäíî èç ðèñóíêà 2.3.1, ïîðîãîâûå çíà÷åíèÿ ðàçëè÷íûõ ìàòåðèàëîâ ìàëî îòëè÷àþòñÿ äðóã îò äðóãà, íî ïðè ýòîì íàáëþäàåòñÿ çàìåòíîå ðàçëè÷èå â ñêîðîñòè ðîñòà êîýôôèöèåíòà ðàñïûëåíèÿ ïðè óâåëå÷åíèè ýíåðãèè èîíîâ. Äëÿ ëåãêèõ èîíîâ íå âûñîêèõ ýíåðãèé êîýôôèöèåíò ðàñïûëåíèÿ  ìåòàëëîâ ïðîïîðöèîíàëåí , äëÿ òÿæåëûõ - . Ïðè âûñîêèõ ýíåðãèÿõ èîíîâ, êàê îòìå÷àëîñü ðàíåå, ïðîèñõîäèò èìïëàíòàöèÿ è êîýôôèöèåíò ðàñïûëåíèÿ óìåíüøàåòñÿ (ðèñ. 2.3.2).   Õàðàêòåð çàâèñèìîñòè êîýôôèöèåíòà ðàñïûëåíèÿ  îò óãëà ïàäåíèÿ èîíîâ  ïîêàçàí íà ðèñóíêå 2.3.3. Èç ðèñóíêà âèäíî, ÷òî ðàçëè÷íûå ìàòåðèàëû ìèøåíè ïî-ðàçíîìó ðåàãèðóþò íà èçìåíåíèå óãëà ïàäåíèÿ èîíîâ, ïðè÷åì ó áîëåå òóãîïëàâêèõ ìåòàëëîâ (Ta, Mo, W) ýòà çàâèñèìîñòü âûðàæàåò ñëàáåå, ÷åì ó ëåãêîïëàâêèõ (Ag, Cu). Ïðè îþëó÷åíèè ìèøåíåé èîíàìè íèçêîé ýíåðãèè íàáëþäàåòñÿ îáðàòíàÿ çàêîíîìåðíîñòü. Òàêèå ñëîæíûå çàâèñèìîñòè óãëîâûõ ðàñïðåäåëåíèé ïëîòíîñòè ðàñïûëÿåìîãî ïó÷êà èîíîâ ïîêà íå ïîëó÷èëè óäîâëåòâîðèòåëüíîãî îáúÿñíåíèÿ â îáùåé òåîðèè èîíîãî-ïëàçìåíîãî (êàòîäíîãî) ðàñïûëåíèÿ. Çàâèñèìîñòü êîýôôèöèåíòà ðàñïûëåíèÿ îò òåìïåðàòóðû òàêæå ñëîæíà. Îíà îïðåäåëÿåòñÿ õàðàêòåðîì èçìåíåíèÿ ñòðóêòóð ìèøåíè ñ óâåëå÷åíèåì òåìïåðàòóðû. Íà ñòðóêòóðó ìèøåíè âëèÿåò îòæèã äåôåêòîâ. Îí âîñòàíàâëèâàåò ïîâðåæäåíèÿ êðèñòàëè÷åñêîé ðåøåòêè, ïðîèçâîäèìûå ïàäàþùèì èîíîì î òîãî, êàê â ýòî ìåñòî ïîïàäåò ñëåäóþùèé èîí. Ýòî óâåëå÷åíèå òåìïåðàòóðû ìîæåò ñíèæàòü çíà÷åíèå êîýôôèöèåíòà ðàñïûëåíèÿ.   Åñëè ïîâûøåíèå òåìïåðàòóðû ðàñïûëÿåìîãî ìåòàëëà ïîâëè÷åò çà ñîáîé ôàçîâîå ïðåâðàùåíèå (íàïðèìåð, â æåëåçå ïðè 1179 Ê ÎÖÊ ïåðåõîäèò â ÃÖÊ), òî õàðàêòåð çàâèñèìîñòè Êï îò òåìïåðàòóðû ìîæåò èçìåíÿòüñÿ. Òàê, ïðè íàãðåâàíèè Fe äî 1179Ê êîýôôèöèåíò Êï óâåëè÷èâàåòñÿ ñ ðîñòîì òåìïåðàòóðû, à ïîñëå 1179Ê óìåíüøàåòñÿ. Íà ðèñóíêå 2.3.4 ïîêàçàíà çàâèñèìîñòü êîýôôèöèåíòà ðàñïûëåíèÿ îò òåìïåðàòóðû ìèøåíè äëÿ íåêîòîðûõ ìåòàëëîâ. Óãëîâîå ðàñïðåäåëåíèå ðàñïðåäåëåíèå ðàñïðåäåëåíèÿ ÷àñòèö ÷àñòî èìååò ïåðâîñòåïåííîå çíà÷åíèå äëÿ òåõíîëîãèè ïîëó÷åíèÿ êà÷åñòâåííûõ òîíêèõ ïëåíîê ðàçëè÷íûõ ìàòåðèàëîâ.  îòëè÷èå îò èñïàðåíèÿ óãëîâîå ðàñïðåäåëåíèå ÷àñòèö ïðè êàòîäíîì ðàñïûëåíèè íå ïîä÷èíÿåòñÿ çàêîíó êîñèíóñà. Áîëüøîå ÷èñëî ÷àñòèö ðàñïûëÿåòñÿ â íàïðàâëåíèè, ïàðàëëåëüíîì ïîâåðõíîñòè ìèøåíè (“ïîäêîñèíóñíîå” ðàñïðåäåëåíèå). Òàêîå ðàñïûëåíèå õàðàêòåðíî äëÿ ìèøåíåé èç Fe è Mo, êîòîðûå èìåþò ÎÖÊ, è íå õàðàêòåðíî äëÿ Ni è Pt, èìåþùèõ ÃÖÊ. Ïî ìåðå âîçðàñòàíèÿ ýíåðãèè èîíîâ, õàðàêòåð ðàñïðåäåëåíèÿ ìåíÿåòñÿ (èç “ïîäêîñèíóñíîãî” ñòàíîâèòñÿ “íàäêîñèíóñíûì”), ò.å. áîëüøåå, ÷åì ýòî ñëåäóåò èç çàêîíà êîñèíóñà, ÷èñëî ÷àñòèö íà÷èíàåò ðàñïûëÿòñÿ â íàïðàâëåíèè áëèçêîì ê íîðìàëè ïîâåðõíîñòè ìèøåíè. Ïðè äàâëåíèÿõ íèæå 0.0133 Ïà êîýôôèöèåíò Êï ïðàêòè÷åñêè íå çàâèñèò îò äàâëåíèÿ è ñîñòàâà îñòàòî÷íûõ ãàçîâ è òîëüêî ïðè äàâëåíèÿõ âûøå 1.33 Ïà íà÷èíàåò ðåçêî óìåíüøàòüñÿ (ðèñóíîê 2.3.5.), ÷òî îáúÿñíÿåòñÿ îáðàçîâàíèåì íà ïîâåðõíîñòè ìèøåíè ïëîòíûõ àäñîðáèðîâàííûõ ñëîåâ, ïðåïÿòñòâóþùèõ ðàñïûëåíèþ ìàòåðèàëà ìèøåíè, à òàêæå âîçâðàòîì ðàñïûëåííûõ ÷àñòèö ê êàòîäó èç ñîóäàðåíèÿ ñ ÷àñòèöàìè ãàçà.  Ðèñóíîê 2.3.5.Çàâèñèìîìòü êîýôôèöèåíòà ðàñïûëåíèÿ Êï íèêåëÿ, áîìáàðäèðóåìîãî èîíàìè àðãîíà ñ ýíåðãèåé 150 ýÂ, îò äàâëåíèÿ ãàçà ð. Êàê ïðàâèëî, â óñòàíîâêàõ èîííî-ïëàçìåííîãî ðàñïûëåíèÿ ðàáî÷àÿ êàìåðà îãðàíè÷åíà âàêóóìíîïëîòíûì êîëïàêîì. Äàâëåíèå â êàìåðå ïîääåðæèâàåòñÿ íà óðîâíå 1,33 Ïà. Ðàñòîÿíèå ìåæäó êàòîäîì è àíàîäîì ñ ðàñïîëîæåííûìè íà íåì ïîäëîæêàìè ñîñòàâëÿåò 1...15 ñì ïðè äèàìåòðå ýëåêòðîäîâ 5...50 ñì. Íàïðÿæåíèå ïîääåðæèâàåòñÿ 1...10 êÂ. Ðàñïûëåíèå ïðè íèçêîì äàâëåíèè èìååò îïðåäåëåííûå äîñòîèíñòâà: äîñòèãàåòñÿ áîëüøàÿ ÷èñòîòà ïëåíêè çà ñ÷åò óìåíüøåíèÿ çàõâàòà àòîìîâ ãàçà, óëó÷øàåòñÿ àäãåçèÿ ïëåíîê áëàãîäàðÿ áîëüøåé ýíåðãèåé ðàñïûëåííûõ ÷àñòèö, óäàðÿþùèõñÿ î ïîäëîæêó. Îäíàêî ïðè ïîíèæåíèè äàâëåíèÿ òåìíîå ïðîòñðàíñòâî â ðàçðÿäå ðàñòÿãèâàåòñÿ ðàçðÿä ãàñíåò è ðàñïûëåíèå ïðåêðàùàåòñÿ. Ïîýòîìó äëÿ ïîääåðæàíèÿ ðàçðÿäà è îáåñïå÷åíèÿ ðàñïûëåíèÿ ïðè íèçêèõ äàâëåíèÿõ íåîáõîäèìû ñïåöèàëüíûå ìåðû. Äëÿ ïîëó÷åíèÿ ïëåíîê â áîëåå ãëóáîêîì âàêóóìå ñ öåëüþ äîñòèæåíèÿ áîëüøåé ÷èñòîòû ïðèìåíÿþò àïïàðàòû, ïîçâîëÿþùèå ïîääåðæèâàòü ïëàçìó ïðè äàâëåíèè 10-5...10-7 Ïà. Ïðè ýòîì äëÿ âîçáóæäåíèÿ ïëàçìû èñïîëüçóþò ñïåöèàëüíûå óñòðîéñòâà. Ñòåïåíü ðàçðÿæåíèÿ äîëæíà îáåñïå÷èâàòü ðàâåíñòâî ñêîðîñòåé ðàñïûëåíèÿ è îñàæäåíèÿ, ïðè êîòîðîì ðàñïûëåííûå ÷àñòèöû íå áóäóò âîçâðàùàòüñÿ îáðàòíî ê êàòîäó âñëåäñòâèå ñîóäàðåíèÿ ñ ìîëåêóëàìè ãàçà. Ñêîðîñòü èîííî-ïëàçìåíîãî ðàñïûëåíèÿ (îñàæäåíèÿ) v=CIKï (2.3.1), ãäå Ñ - ïîñòîÿííàÿ äàííîãî ïðîöåññà; I - èîííûé òîê. Ïîñêîëüêó Êï çàâèñèò îò íàïðÿæåíèÿ ðàçðÿäà Uð, äàâëåíèå ãàçà Ð, ðàññòîÿíèå d ìåæäó ìåøåíüþ è ïîäëîæêîé, ïðèðîäû ðñïûëÿåìûõ èîíîâ è äðóãèõ ôàêòîðîâ, óðàâíåíèå (2.3.1) ìîæíî çàïèñàòü â âèäå: v=(C’IUp)/(Pd), ãäå Ñ’ - ýêñïåðèìåíòàëüíàÿ êîíñòàíòà, îòðàæàþùàÿ âëèÿíèå íåó÷òåííûõ ôàêòîðîâ. Äëÿ îáåñïå÷åíèÿ âûñîêîé ñêîðîñòè ðàñïûëåíèÿ èîííûé òîê ñëåäóåò óâåëè÷èâàòü äî ìàêñèìàëüíî âîçâîæíîãî çíà÷åíèÿ. Èç-çà îãðàíè÷åíèÿ äîïóñòèìîé ìîùíîñòè íàïðÿæåíèå ìîæíî ïîâûñèòü òîëüêî çà ñ÷åò ïîâûøåíèÿ äàâëåíèÿ ãàçà, ÷òî ïðèâåäåò ê ðåçêîìó ñíèæåíèþ Êï. Ïîýòîìó äëÿ ïîâûøåíèÿ ñêîðîñòè ðàñïûëåíèÿ äàâëåíèÿ ãàçà íåîáõîäèìî ïîääåðæèâàòü íà òàêîì óðîâíå, ÷òîáû îíî ñîîòâåòñòâîâàëî äîñòàòî÷íî âûñîêîìó çíà÷åíèþ Êï. Ñîãëàñíî ðèñóíêó 2.3.5 ýòî äàâëåíèå ñîñòàâëÿåò 1.3 Ïà. Íà ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ âëèÿåò ðàññòîÿíèå ìåæäó ïîäëîæêàìè è êàòîäîì. ×òîáû îáåñïå÷èòü îñàæäåíèå ìàêñèìàëüíîãî êîëè÷åñòâà ðàñïûëåííîãî ìàòåðèàëà, ïîäëîæêè ñëåäóåò ðàñïîëîãàòü êàê ìîæíî áëèæå ê êàòîäó. Îäíàêî ïî ìåðå èõ ñáëèæåíèÿ èîííûé òîê ðåçêî ïàäàåò (äàæå åñëè ïîäëîæêè íå äîñòèãëè ãðàíèöû òåìíîãî êàòîäíîãî ïðîñòðàíñòâà) è ñêîðîñòü ðàñïûëåíèÿ óìåíüøàåòñÿ. äëÿ âûáîðà îïòèìàëüíîãî ðàñòîÿíèÿ ìåæäó ïîäëîæêîé è êàòîäîì ñóùåñòâóåò èìïåðè÷åñêîå ïðàâèëî, ñîãëàñíî êîòîðîìó ýòî ðàññòîÿíèå äîëæíî áûòü â äâà ðàçà áîëüøå äëèíû êðóêñîâà òåìíîãî ïðîñòðàíñòâà. Ýêñïåðèìåíòàëüíî óñòàíîâëåíî, ÷òî ÷èñëî îñåâøèõ íà ïîäëîæêå àòîìîâ ñîñòàâëÿåò 99; 96; 55; 10% îò îáùåãî ÷èñëà ðàñïûëåííûõ àòîìîâ ïðè ñëåäóþùèõ çíà÷åíèÿõ ïðîèçâåäåíèÿ Pd: 10-2; 10-1;1;10 Ïàñì. Ïðè èîííî-ïëàçìåííîì ðàñïûëåíèè íàïðÿæåííîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ ïî êðàÿì êàòîäà óâåëè÷èâàåòñÿ, ÷òî ïðèâîäèò ê óñêîðåíèþ ðàñïûëåíèÿ ñ åãî êðàåâ è ñîîòâåòñòâóþùåìó ðîñòó òîëùèíû ïëåíîê íà ïåðèôåðèè ïîäëîæåê. ×òîáû èçáåæàòü ýòîãî, ïëîùàäü ìèøåíè äîëæíà áûòü çíà÷èòåëüíî áîëüøå ïëîùàäè ïîäëîæåê. Îáû÷íî îòíîøåíèå ýòèõ ïëîùàäåé ñîñòàâëÿåò 10:1. Ïðè ýòîì ìîæíî îáåñïå÷èòü ðàâíîìåðíîñòü òîëùåíû ïëåíîê îêîëî 1%. Ñêîðîñòü èííî-ïëàçìåííîãî ðàñïûëåíèÿ ïîääåðæèâàåòñÿ ðàâíîé 100 íì/ìèí. Ñïèñîê ëèòåðàòóðû 1. ×åðíÿåâ Â.Í. Ôèçèêî-òåõíè÷åñêèå ïðîöåññû â òåõíîëîãèè ÐÝÀ. Ì.: Âûñø. øê., 1987.-376 ñ. 2. Åïèôàíîâ. Ôèçèêà òâåðäîãî òåëà. 3. Åàèôàíîâ. Ôèçè÷åñêèå îñíîâû ìèêðîýëåêòðîíèêè.  Ààÿÿ éïÿÿ a[1]ÿÿ D€#[1]ÿÿ ‡@[1]ÿÿ j‑ÀF[1]ÿÿ ò@e[1]ÿÿ |@l[1]ÿÿ ” Àˆ[1]ÿÿÈÿÿ
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